集成电路技术简介课稿.pptx

张长春 副教授 zhangcc@njupt.edu.cn 集成电路技术简介 集成电路与微电子 内容 集成电路的出现 集成电路的产业分工 集成电路的分类 集成电路的设计 集成电路制造 集成电路的封装 集成电路的测试 电子管vs.晶体管 最早的电子计算机 18000个电子管，1500个继电器，占地150m2,重30吨，耗电140kW 电子管vs.晶体管 分立vs 集成 第一个晶体管 John Bardeen William Bradford Shockley Walter Houser Brattain 第一个晶体管 1947年12月23日 贝尔实验室 1958年第一块集成电路：12个器件，Ge晶片 Kilby, TI公司 2000年诺贝尔物理奖 第一块集成电路 摩尔定律 IC上可容纳的晶体管数目，约每 18 个月便会增加一倍，性能也提升一倍 微米时代 3um-2um-1.2um- 亚微米时代 0.8um-0.5um- 深亚微米时代 0.35um-0.25um-0.18um-0.13um- 纳米时代 90nm -65nm-45nm- 32nm 集成电路的尺寸 USB闪存 汽车电子 音响设备 DVD 播放器 手机电视 游戏机 视频电话 流媒体 高清影像 各种IC相关产品无处不在 3C概念 集成电路市场按整机应用划分，可分为 计算机类、消费类、通信类等不同类别。这三类占了整个市场的78%。 集成电路市场产品构成 内容 集成电路的出现 集成电路的产业分工 集成电路的分类 集成电路的设计 集成电路制造 集成电路的封装 集成电路的测试 产业链 整机系统提出应用需求 集成电路设计 计算机与网络、通信（有线、无线、光通信、卫星通信） 数字音视频（电视机、视盘机DVD、MP3播放器、音响……） IC卡（身份认证）与电子标签、汽车电子、生物电子、工业自动化 … EDA工具、服务器、个人计算机(PC)、工程技术人员…… 集成电路制造 厂房、动力、材料（硅片、化合物半导体材料）、专用设备、仪器（光刻机、刻蚀机、注入机… 集成电路封装 集成电路测试 划片机、粘片机、键合机、包封机、切筋打弯机、芯片、塑封料、引线框架、金丝……… 测试设备、测试程序、测试夹具、测试探针卡、测试、分选、包装…… 集成电路应用 电脑及网络、通信及终端（手机） 、电视机、DVD、数码相机、其他 产业分工 产业分工 IC 产业主要由设计业、制造业、封测业组成 设计 除此之外，还有半导体材料、设备、设计软件工具等附加产业 集成电路设计能力增长不能跟上芯片复杂度的增长速率 Fabless Foundry 无生产线（Fabless）：IC设计单位不拥有生产线。拥有设计人才和技术 代工（Foundry）：芯片设计单位和工艺制造单位的分离，即芯片设计单位可以不拥有生产线而存在和发展，而芯片制造单位致力于工艺实现，即代客户加工（简称代工）方式。代工方式已成为集成电路技术发展的一个重要特征。 流片：完成芯片的流水式加工，将版图数据定义的图形最终有序地固化到芯片上的过程。 Fabless Foundry 无生产线与代工（F F）的关系图 Fabless Foundry Step1：代工单位将经过前期开发确定的一套工艺设计文件PDK（Pocess Design Kits)通过因特网传送给设计单位。 Step2：设计单位根据研究项目提出的技术指标，在自己掌握的电路与系统知识的基础上，利用PDK提供的工艺数据和CAD/EDA工具，进行电路设计、电路仿真（或称模拟）和优化、版图设计、设计规则检查DRC、参数提取和版图电路图对照LVS，最终生成通常称之为GDS-Ⅱ格式的版图文件。再通过因特网传送到代工单位。 Step3：代工单位根据设计单位提供的GDS-Ⅱ格式的版图数据，首先制作掩模（Mask），将版图数据定义的图形固化到铬板等材料的一套掩模上。 Step4：在一张张掩模的参与下，工艺工程师完成芯片的流水式加工，将版图数据定义的图形最终有序的固化到芯片上。这一过程通常简称为“流片” Step5：设计单位对芯片进行参数测试和性能评估。符合技术要求时，进入系统应用。从而完成一次集成电路设计、制造和测试与应用的全过程。 Fabless Foundry Foundry业务地区分布 Fabless Foundry MPW：将几到几十种工艺上兼容的芯片拼装到一个宏芯片上然后以步进的方式排列到一到多个晶圆上 MPW意义： 降低研制成本 MPW技术服务中心成为虚拟中心为无生产线IC和代工制造之间建立信息流和物流的多条公共渠道 多项目晶圆（MPW）计划 MPW技术降低成本 多项目晶圆（MPW）计划