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第5章 压电传感器 5.1 压电效应 5.1.1 石英晶体的压电效应 石英晶体具有如图5.1所示的规则的几何形状,它是一个六棱柱,两端是六棱锥。石英晶体是各向异性体,即在各个方向晶体性质是不同的。 在结晶学中,将石英晶体的结构用三根互相垂直的轴来表示,其中纵向轴Z称为光轴,经过六棱柱棱线并垂直于光轴的X轴称为电轴,与X轴和Z轴同时垂直的Y轴（垂直于棱面）称为机械轴。 石英晶体的压电效应与其内部结构有关。石英晶体即二氧化硅,它的化学式为SiO2。为了直观地了解其压电效应,将一个单元中构成石英晶体的硅离子和氧离子,在垂直于Z轴的XY平面上的投影,等效为图5.2中的正六边形排列。图中代表Si 4+, 代表2O2。 当石英晶体未受外力作用时,正、负离子（即Si4+和2O2）正好分布在正六边形的顶角上,形成三个大小相等、互成120°夹角的电偶极矩P1、P2和P3,如图5.2(a)所示。P=ql，q为电荷量,l为正、负电荷之间的距离。电偶极矩方向为负电荷指向正电荷。此时,正、负电荷中心重合,电偶极矩的矢量和等于零,即P1 + P2 + P3 =0。这时晶体表面不产生电荷,从整体上说它呈电中性。 当石英晶体受到沿X轴方向的压力作用时,将产生压缩变形,正、负离子的相对位置随之变动,正、负电荷中心不再重合,如图5.2(b)所示。电偶极矩在X轴方向的分量为（P1+P2+P3）X＞0,在X轴的正方向的晶体表面上出现正电荷；而在Y轴和Z轴方向的分量均为零,即（P1+P2+P3）Y=0,（P1+P2+P3）Z=0；在垂直于Y轴和Z轴的晶体表面上不出现电荷。这种沿X轴施加力,而在垂直于X轴的晶体表面上产生电荷的现象,称为“纵向压电效应”。 当石英晶体受到沿Y轴方向的压力作用时,晶体如图5.2(c)所示变形。电偶极矩在X轴方向的分量（P1+P2+P3）X＜0,在X轴的正方向的晶体表面上出现负电荷。同样,在垂直于Y轴和Z轴的晶体表面上不出现电荷。这种沿Y轴施加力,而在垂直于X轴的晶体表面上产生电荷的现象,称为“横向压电效应”。 当晶体受到沿Z轴方向的力（无论是压力或拉力）作用时,因为晶体在X方向和Y方向的变形相同,正、负电荷中心始终保持重合,电偶极矩在X、Y方向的分量等于零。所以,沿光轴方向施加力,石英晶体不会产生压电效应。 需要指出的是,上述讨论均假设晶体沿X轴和Y轴方向受到了压力。当晶体沿X轴和Y轴方向受到拉力作用时,同样有压电效应,只是电荷的极性将随之改变。石英晶片上电荷极性与受力方向的关系如图5.3所示。 5.1.2 压电常数 压电材料的压电常数和表面电荷,是衡量压电材料性能的重要参数。如果从石英晶体上切下一片平行六面体——晶体切片（如图5.4所示）,当晶片受到X方向的作用力q11时,则在与电轴垂直的平面上产生电荷q11,它的大小为  q11 =d11F1 (5.1) 式中d11为压电常数（单位为库仑／牛顿,即C／N）。 q11 、d11脚标中的第一个1表示在垂直于X轴表面产生电荷,第二个1表示在X轴方向施加力。 q11的单位为库仑（C）, F1的单位为牛顿（N）。电荷q11的正、负符号由F1是压力还是拉力而定。从式（5.1）可以看出,沿电轴方向对晶片施加作用力时,切片上产生的电荷大小与切片的几何尺寸无关。 如果在同一切片上作用的力是沿着机械轴的方向,其电荷仍在与X轴垂直的平面上出现,而极性方向相反。此时电荷的大小为  (5.2) ? 式中：F2——沿Y轴方向对晶体施加的作用力（N）； q12——在F2作用下,在垂直于X轴的晶片表面上出现的电荷量（C）； l、t、w ——分别为石英晶体的长度、厚度和宽度,l、t、w的单位均为米（m）。 从式（5.2）可知,沿机械轴方向对晶片施加作用力时,切片上产生的电荷大小与切片的几何尺寸有关。适当选择切片的相对尺寸（长度和厚度）,可以使电荷量增加。 顺便指出,当石英晶体分别受到剪切应力T4、T5、T6作用时,压电常数的脚标中就会出现4、5或6。T4 、 T5 、 T6分别为晶片X面（即YZ面）、Y面（即ZX面）和Z面（即XY面）上作用的如图5.5所示的剪切应力。总之,压电常数dij有两个脚标,即i和j。其中i(i=1,2,3)表示在i面上产生电荷,例如i=1, 2, 3分别表示在垂直于X、Y、Z轴的晶片表面即X、Y、Z面上产生的电荷；脚标j=1, 2, 3, 4, 5, 6, j=1, 2, 3分别表示晶体沿X、Y、Z轴方向承受单向应力,j=4, 5, 6则分别表示晶体在YZ