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第 6 章 压电式传感器 1. 电压放大器（阻抗变换器） 图 6-9 电压放大器电路原理及其等效电路图 （a） 放大器电路 （b） 等效电路 R=RaRi/(Ra+Ri)，C=Cc+Ci，ua=q/Ca。 传感器 电缆 放大器 若压电元件受正弦力 f=Fm sinωt 的作用，则其电压为 式中： Um——压电元件输出电压幅值，Um=dFm/Ca； d——压电系数。 由此可得放大器输入端电压Ui，其复数形式为 . Ui的幅值Uim为 . 输入电压和作用力之间相位差为 (6-8) (6-9) 一般在ω/ω03时，就可以认为表明前置放大器输入电压Uim与频率无关 。 压电器件与测量电路相联的动态特性曲线 ω0表示测量电路时间常数之倒数 输入电压幅值Uim为 结论： （1） 这表明压电传感器有很好的高频响应，但是，当作用于压电元件的力为静态力（ω=0）时， 前置放大器的输出电压等于零， 因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉， 所以压电传感器不能用于静态力的测量，工作频率一般高于100Hz。 （2）当ω(Ca+Cc+Ci)R1 时，放大器输入电压Uim如式（6-10）所示，式中Cc为连接电缆电容，当电缆长度改变时，Cc也将改变，因而Uim也随之变化。因此，压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换， 否则将引入测量误差！ 2. 电荷放大器 电荷放大器，就是输出电压正比于输入电荷的一种放大器。由一个反馈电容Cf和高增益运算放大器构成。 放大器的反相输入端与传感器相连，其输出经电容Cf 反馈至输入端。 电荷源用电压源代替 若放大器的Ad （开环放大倍数）很大，则反相输入端虚地点对地电位趋于零。由于放大的直流输入电阻很高，故传感器的输出电荷q只对电容Cf 充电， Cf 上的充电电压。 电荷放大器的输出电压仅和输入电荷成正比，和反馈电容成反比，与其他电路参数、输入信号频率均无关! 电荷放大器的输出电压 若运算放大器输入阻抗极高， 放大器输入端几乎没有分流，故可略去Ra和Ri并联电阻。 实际上并非如此，只有在理想情况下才成立！ 电荷放大器的实际等效电路如图所示： （6-12） 通常A=104~108，因此，当满足(1+A)CfCa+Cc+Ci时，式（6-12）可表示为 （6-13） 由运算放大器基本特性， 可求出电荷放大器的输出电压： 显然可见，实际电荷放大器的输出电压，不仅和输入电荷q有关，而且和电路参数Cf 、Ca 、Cc 、Ci，及信号频率f 、开环增益A有关。 3. 压电方程与压电系数 （1）压电方程 应力的作用方向 （2）压电系数 压电系数下标系数的含义 第一个下标表示极化方向 i =1、2、3分别表示x、y、z 三个轴方向。 j = 1、2、3、4、5、6 分别表示沿 x、y、z 三个轴方向的应力和垂直于x、y、z 三个轴平面（XZ、YZ、XY平面）作用的剪切力。 第二个下标表示作用力方向 例如X切族原始位置的晶片如图所示，当沿电轴方向施加作用力Fx时，在与电轴x垂直的平面上将产生电荷， 其大小为 ： 式中, d11为x方向受力的压电系数。 若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力Fy，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy，其大小为 d12——y轴方向受力的压电系数，根据石英晶体的对称性， 有d12= -d11； a、b—晶体切片的长度和厚度。 电荷 qx 和 qy 的符号由受压力还是受拉力决定。 石英晶体的上述特性与其内部原子结构有关！ 若采用xy切型，则图6-3是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于z轴的xy平面上的投影，等效为一个正六边形排列。 图中“ + ”代表硅离子Si4+， “ - ”代表氧离子2O2-。 (b) (a) + + - - - Y X X Y 硅氧离子的排列示意图 (a) 硅氧离子在Z平面上的投影 （b）等效为正六边形排列的投影 + 1.不受力时 Y + + + - - - X (a) FX=0 P1 P2 P3 当作用力FX=0时，正、负离子（即Si4+和2O2-）正好分布在正六边形顶角上，形成三个互成120o夹角的偶极矩P1、P2、P3，如图（a）所示。此时正负电荷中心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即 P1＋P2＋P3＝0 （1）当晶体受到沿X方向的压力（FX0）作用时 在Y、Z方向上的分量为