静电防护管理规范.doc

1、目的 通过对静电的基准化管理，减小ESD对产品品质的影响。 2、适用范围 此规范适用于南京中电熊猫平板显示科技有限公司（以下简称“公司”）第二工厂对工程环境中静电的规范。 3、安全注意事项 无 4、定义 静电：在物体相互间接触或摩擦及分离中，一侧失电子，另一侧接受电子，失电子侧具有Plus(+)， 接受电子侧Minus (-)的现象。 4.2静电放电 (Electro-static Discharge简称ESD)：为了使已形成静电即已成为不平衡原子的再结合变平衡状态的过程，与此相同的现象与静电发生过程相同也是在物体相互间摩擦和分离等过程中形成。 衰减时间：从± 1,000 V衰减到± 100 V的时间。 离子平衡：离子风机/扇带电量。 EOS(Electrical overstress):静电过载过度电性 4.6HBM(Human Body Model)：模式 4.7 MM(Machine Model)：放电模式 4.8 CDM(Charged Drive Model)：充电模式5、静电的管理 5.1 管理分类表 类别 管理对象 管理方法 管理标准 管理周期 管理部门 人员及作业方法 防尘鞋使用 防尘服使用 防静电手套使用 作业员进入工程时按照无尘室管理规定执行进行自检 无尘室管理规定 每天 生产 设备装置 离子风机/扇 离子平衡测试衰减时间：2 S 离子平衡：±50 V月 风量 最大风量管控（特殊要求的站别，适合风量管控 注：管控，不记录巡检确认 使用距离 除静电风机固定在对象物品30cm 距离处（某些场所、条件下，要基于实际的作业环境、装置差异等调整、确定适当的使用距离） ：管控，不记录巡检确认 使用角度 根据对象品与固定点的位置关系选定最佳吹风角度(为了避免角度在实际使用过程中被有意或无意的改变，要明确的标识角度)：管控，不记录 巡检确认 设备接地接地阻抗6Ω～109Ω 每半年 QC 5.2 测试仪器 No 仪器名称 用途 1 离子平衡测定器 测量离子风机/扇 静电消除结果 2 阻抗计 机台接地阻抗 3 人体ESD装备综合测试仪 测试每日进入洁净室人员穿着防静电服装后的状态 6综合测试仪使用方法 6.1人体ESD装备综合测试仪操作说明： LO：低于设定值，PASS:设定值范围内，HI:高于设定值，有报警功能，参数表如下： 指示灯 电阻值 LO R750KΩ PASS 750KΩR≦100MΩ HI R100MΩ 6.2人体综合测试仪测试方法 静电环的佩戴方式：必须与皮肤紧密接触，不得松弛，不得隔衣物，必须将金属片戴在手腕上侧，如下图所示 人员穿着无尘服装完毕后，在作业前在人体静电综合测试仪上进行人体ESD状态测试,测量方法如下所示 a.双脚站在测试仪金属板上，双脚完全接触金属板，静电环连接在仪器上； b.用手腕处的皮肤按压静电测试仪器的检测按钮,三个指示灯都亮绿灯即合格（OK），有一个指示灯亮红灯则为不合格（NG），并且蜂鸣器会长鸣。如下图： 6.2.1测量频率：2次/班 6.2.2测量仪器矫正频率：1/年，仪器必须在有效的矫正期内才能够使用 6.2.3测试对象:所有产线作业人员 6.2.4静电环的作用：人体所带的静电量及人体所产生静电的变化时，静电荷能够瞬间导出 6.2.5记录方法：人体综合测试结果记录在点检表（DSM-MF-Q006A-01） 6.3人体综合测试异常处理流程： 7.设备接地 设备接地方法：将接地电缆外皮剥离，内部铜线绕在设备地脚上，全部链接后统一接地工厂内等电位端子箱。 的作用：设备作业产生的导入大地，电荷累计导致静电破坏造成对人员设备、产品的 测量记录方法：接地阻抗的结果记录在点检表DSM-MF-Q006A-03） 设备接地注意事项：接地线与人员接地线分开。8. 装备（设备内静电Bar、离子风机/扇） 8电测量：用测量8.2静电规格：≤ ± 0 V（产品）；2秒内± 1000 V → ± 100 V平衡电压± 50 V以内， 不良标准：a. 衰减时间超过情况； b. 平衡电压时超过±50 V的情况。8.3测量距离在30 cm之间测量异常时立即清或者更换，直至测试通过。 8.4装置8.5测量方法： 8.5.1离子平衡测试仪线路连接 8.5.2测量方法 8.6测量记录方法：的结果记录在点检表（DSM-MF-Q006A-02） 仪器矫正频率：/