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研究生课程考试成绩单 （试卷封面） 院 系 专业 学生姓名 学号 课程名称 微电子机械系统 授课时间 2013年 3月至2013年 6 月 周学时 2 学分 2 简 要 评 语 考核论题 [微电子机械系统] 作业 总评成绩 （含平时成绩） 备注 任课教师签名： 日期： 注：1. 以论文或大作业为考核方式的课程必须填此表，综合考试可不填。“简要评语”栏缺填无效。 2. 任课教师填写后与试卷一起送院系研究生秘书处。 3. 学位课总评成绩以百分制计分。 习题1.6查出两种压力传感器的产品性能表；一种基于MEMS技术，一种基于非MEMS技术。根据本书1.3.2所列的标准，总结这两种产品的性能。 答：下表是艾克威特智能科技有限公司的陶瓷电容压力传感器CPS312和freescale的mems压力传感器MPX10的性能表 型号 性能 CP312 MPX10 灵敏度 3.5mV/kPa 线性度 0.1% VFSS -1.0~1.0%VFSS 量程 7kPa~2MPa 75kPa 响应时间 10ms 1ms 漂移 ±0.01％FS/μV/℃ 工作温度 -40~+120℃ -40~+120℃ 从以上性能表来看，基于MEMS技术的压力传感器的响应时间短，漂移小，但是其量程小，适合测量压力较小的精确测量，而非MEMS技术的压力传感器适合大压力的压力测量 习题2.4画出本章讨论的压力传感器制造过程（图2-6）。扩展教材中的流程图使其包含光刻步骤等所有的步骤。这个练习的目的是认识、学习并熟悉画图软件。试描绘出几何形状，包括诸如侧壁和斜坡的覆盖层等一些细节。 答： 习题3.25证明中心点加力的双端固支梁的力常数可以看成两个简支的并联梁，并且横截面积不变，长度变为原来的一半。 解：设双端固支梁的长为l，宽为w，厚t，则可得其中点最大位移为： 所以其力常数为： ，其中 设简支的悬臂梁的长为，由于其截面积和双端固支梁相同，所以转动惯量不变，则可得其力常数为： 两个悬臂梁并联后的力常数为： 因而得证以上结论 习题3.26用单晶硅制造宽为20μm的单端固支悬臂梁，使得力常数为10N/m、谐振频率为10KHz。求悬臂梁要求的长度和厚度。硅的杨氏模量为12GPa。硅材料的密度为2330kg/m3。从下面的选项中选出正确的答案并给出理由。 长=6.4mm、宽=351μm 长=mm、宽=μm 长=mm、宽=m 解：固支悬臂梁的力常数为：， 其中，， 又知其谐振频率为，其中，， 由以上式子可以得出， 所以选择2） 习题4.4由四个硅梁支撑的平行板电容器如下图所示，上极板面积为1mm×1mm，四根支撑梁都是500μm长、5μm宽、0.3μm厚。平行板电容器受到的力常数km是多少？（注意：图并未按尺寸比例画）。硅的杨氏模量取120Gpa。 1）0.1N/m；2）0.4N/m；3）0.00013N/m；4）0.00052N/m；5）0.00003N/m。 解：单个简支悬臂梁的力常数为： 所以平行板电容器受到的力常数为 所以选择4） 习题 4.5如果习题4.4中的支撑梁变为0.25mm（也就是原长的一半），以下哪个表述是正确的？ 1）吸合电压将增加为四倍； 2）当梁的位移超过时，平板将发生吸合； 3）吸合点处的静电力常数将增加到8倍； 4）器件的谐振频率将会减小。 解：由题可知，支撑梁的长度减小一半 1）吸合电压的表达式为，其中 所以，因此长度变为原来一半，吸合电压应该增加为倍。所以1）错。 2）吸合位置与长度无关，所以仍在时发生吸合，所以2）错。 3）在吸合点处，当长度缩短为原来一半时，静电力常数增加到8倍，所以3）正确 4）谐振频率为，所以长度缩短，频率增加，所以4）错 习题5.4对于1mm长的金-硅复合梁（固定端-自由端），当梁的温度被加热到高于室温10°时，梁顶端的垂直位移是20μm。如果温度提高到30°，试计算梁的角位移和垂直位移。计算曲率半径的公式为： 写出分析步骤。（提示：当θ较小时，用泰勒级数展开式来近似函数。） 垂直位移为60μm，角位移为6.8°； 垂直位移为49μm，角位移为2.3°； 垂直位移为49μm，角位移为15°； 垂直位移为60μm，角位移为15°； 解：角位移为，垂直位移为 当θ很小时，可得 所以可知， 由温度变化量增大到原来的三倍，所以角位移和垂直位移均增大到原来的3倍，即 ， 选择1） 习题6.9考虑有两个指向臂100方向的硅悬臂梁。（推导在力F作用下电阻相对变化的解析解。）电阻在整个长度方向均匀掺杂。每个悬臂梁的长度为L，宽度为W，厚度为t。沿着每个臂的电阻长L，宽w，均匀参杂厚度tp。（提示：与两个臂水