薄膜修饰电极传感器.docVIP

目 录 摘要 1 关键词 1 Abstract 1 Key words 1 引言 1 1 DLC薄膜及薄膜修饰的传感器特性 2 1.1 DLC薄膜特性 2 1.2 DLC薄膜修饰传感器特性 3 1.2.1 电化学窗口 3 1.2.2 电阻率 4 1.2.3 介电性能 4 1.2.4 场发射性能 4 2 DLC薄膜及薄膜修饰传感器制备 5 2.1 DLC薄膜的制备 5 2.1.1 等离子辅助化学气相沉积 5 2.1.2溅射镀膜 6 2.2 DLC薄膜修饰传感器制备 6 3 DLC薄膜修饰传感器在电化学领域的应用 7 3.1 生物检测 7 3.2 电化学微重力测量 7 3.3 痕量金属检测 8 3.4 氢离子选择场效应晶体管 8 3.5 气体检测 8 4 展 望 9 4.1 电子舌 9 4.2 电子鼻 9 4.3 污水处理 10 参考文献 10 类金刚石薄膜修饰的传感器在电化学中的应用 摘要：综述了类金刚石薄膜及其修饰的传感器特性以及制备工艺，介绍了类金刚石薄膜修饰的传感器在生物检测、电化学微重力测量、痕量金属检测、氢离子选择场效应晶体管和气体检测等领域的应用，并对类金刚石薄膜修饰传感器在电化学相关领域的应用进行了展望。 关键词：类金刚石薄膜 传感器 电化学 Application of Diamond Like Carbon Films Modified Sensor in Electrochemistry Abstract:This paper summarized the perparation methods and properties of diamond like carbon films(DLC films) as well as their modified sensors. The application of DLC films modified sensors in bioassay,electrochemical microgravimetry, metal tracing,H+ ion selective field-effect transistor(pH-ISFET),gas detection and so on is introduced and prospects of application of these sensors in electrochemical area are also. Key words:diamond like carbon films sensor electrochemistry 引言 碳在自然界中是一种广泛分布的元素，它以多种形式存在，主要有金刚石石墨无定形碳以及近年来发现的富勒烯和纳米碳管等。碳以多种形态存在的原因是由于碳原子通常具有3种杂化轨道成键形式，即sp3、sp2和sp1 ，如图1所示[1]。当碳原子以sp3 杂化轨道成键时，其表现形式为金刚石，以sp2 杂化轨道成键时，其表现形式为石墨结构。 图1. sp3、sp2和sp1杂化键 类金刚石( Diamond like carbon，DLC ) 是一种含金刚石结构的非晶碳 。DLC大部分以 sp3杂化轨道成键，小部分以sp2 杂化轨道成键，甚至还含有少量的sp1 化学键[2]，表现出介于金刚石和石墨之间的性质。人们最早在碳氢化合物气体的等离子体放电中就观察到了“硬质碳膜”。1971年，Aisenberg 和Chabot[3]首次报道了采用离子束沉积法制备 DLC 薄膜 。DLC薄膜具有许多优良的特性，包括: 化学稳定性、高电阻光透性高硬度低摩擦性以及高耐磨性等。 由于DLC 薄膜本身具有的众多优良特性以及沉积面积大、膜面平整光滑且制备工艺日益成熟等原因，国内外大量科研工作者展开DLC 制备以及其性能、应用的研究[4-5]，使其在机械加工、声学、光学[6-7]、生物化学、环境检测、电化学领域[8-9]等多个领域得到广泛应用。本文主要从DLC 薄膜和修饰传感器的特性制备工艺及其在电化学相关领域的应用进行综述，并对DLC 薄膜修饰的传感器应用前景进行了展望。 1 DLC薄膜及薄膜修饰的传感器特性 1.1 DLC薄膜特性 根据薄膜制备过程中掺入氢元素的多少， 可以将DLC 薄膜分为两大类----低氢含量的碳膜( a-C films，非晶碳膜) 和氢化类的碳膜(a-C：H films ，含氢非晶碳膜) 。这两类薄膜均具有和金刚石薄膜相似的性能，硬度和