激光干涉仪在线性测长上的应用选读.ppt

检测步骤 1.安装激光干涉仪 2.对光 3.生成检测程式 4.开始检测反向间隙 5.数据分析 6.补正反向间隙 7.开始检测丝杆螺距误差 8.数据分析 9.补正丝杆螺距误差 10.验证补正的效果 1.硬件组成及连接 1.2三脚架 1.2.1云台调整架 高度调整 水平平移调整 角度偏转偏转调整 角度俯仰调整 1.3.1线性测量镜组 分光镜 两个线性反射镜 两个光靶以助于光学准直 1.3.2镜组安装组件 1.4环境补偿单元 1.4.1 空气温度及材料传感器 1.4.2 XC补偿单元端面 1.5 传感器的符号 2.立式加工中心对光 2.1 X、Y轴对光示意图 2.2 Z轴对光示意图 2.3 光束路径图 2.4影响检测精度的因素 1.环境温度 2.材料系数 3.余弦误差 4.死程误差 5.阿贝偏置误差 2.4.1死程误差 消除死程误差 2.4.2余弦误差 消除余弦误差的方法 2.4.3阿贝偏置误差 3.生成检测程式 3.1laserxl软件界面介绍 定义测量目标 3.2出现以下对话框 3.3 以TC-510的Y轴为例 3.4 保存文件 3.5系统选择和设定 3.6各选项名词解释 名词解释： 程序号：该程序的序号 轴名：待校准轴的名称 这里记住是大写 运行次数：我们希望该程序运行多少次 选择方向：在轴上行走的方向是一来一回的间隔点还是只去这样走回时不走 暂停周期：等待软