XRF光谱仪基本原理及结构.ppt

1.2 X射线荧光光谱仪的种类（按原理分）： 1.3 WDXRF与EDXRF对比： * * ROHS测试仪分析原理 1.0 XRF介绍： 1.1 XRF射线的发现： 1895年德国物理学家伦琴发现X射线。 1896年法国物理学家GEORGES S 发现X射线荧光。 1948年，美国海军实验室弗利德曼和伯克斯应用盖克计数器开发出第一台波长色散X射线工荧光光谱仪。 20世纪七年代末，我国开始引入X射线荧光光谱仪。 1.2 X射线荧光光谱仪的种类（按规模分）： 便携式工荧光能谱仪：同位素源为激发源，体积小巧，便于携带，不能达到大型荧光能谱的分析精度，定性半定量，可同时分析黄金（AU）等24种元素，主量元素分析准确度可达1%以内。 小型管激发X-荧光能谱仪：探测器采用正比计数管技术，体积较小，价格便宜，单元素的高含量的分析，分辨率较差，不能对相邻元素进行分析，不能进行多元素分析，一般仅对一个元素进行半定量分析。 大型X-荧光能谱仪：采用SI（LI）探测器技术，很高的稳定性，很高的灵敏度，准确度和重现性，可同时分析NA-U的各种元素，分析的浓度从100%--PPM级。 微区X-荧光能谱仪：从事材料的平均成份分析，可对微区选择的分析，价格较高。 科研领域 质子激发 固体， PIXE:质子激发X射线荧光光谱仪 催化剂，元素和分子化学及材料科学 需要强的激发源 固体，粉末 SRXRF:同步辐射X射线荧光光谱仪 表面分析：硅晶片生产控制 痕量分析：环境，生物和工业分析 检测限低，灵敏度高 固体，粉末，液体 TXRF:全反射X射线荧光光谱仪 商业用途，科研，学术需要 多种样品的定性分析 固体，粉末，液体 EDXRF：能量色散X射线荧光光（EDX3000B即为此能量色散型） 定性分析和无需工作曲线的FP法定量分析 固体，粉末，液体 WDRXRF:波长X线荧光光谱仪 应用领域 特点 样品种类 类型 EDXRF通过使用滤光片或二次靶来降低样品的背景值 WDXRF可以很好的降低样品分析时的背景值 背景值 EDXRF的设计是对多元素同时进行分析，仪器需要采用数学模型对光谱进行修正，这种数学模型很可能导致成倍的误差产生，所以存在一定的光谱干扰 WDXRF是对光谱进行扫描分析，在大多数情况下，无需对光谱进行修正，每种元素即可得到很好的信号 光谱干扰 仪器采用的侦测器的种类决定了EDXRF的解析度 取决于仪器中的分光晶体和光学设计，与EDXRF相比，WDXRF解析度非常好，有较少的光谱干扰和较低的背景值 解析度 EDXRF WDXRF 1.4 XRF仪器品牌： SeiKo (日本精工)：台式 Horiba（日本掘场）：台式 Skyray（中国天瑞）：台式 Niton （美国尼通）：手持式 Innov（美国伊洛维）：手持式 Shimadzu（日本岛津）：台式 不需前处理 非破坏性分析 被测样品 X射线 X射线管 检测器 1.5 XRF测试的优势： 全元素同时分析 可对应固体，粉末，液体 X荧光射线 2.0 XRF光谱原理： 2.1 什么是X射线？X射线的本质是电磁辐射波，与可见光相似，仅是波长不同而已。 X射线波长：0.01nm-40.0nm X射线能量：124Kev-0.124Kev X射线与物质作用时，产生各种不同的和复杂的过程。就其能量转换而言，一束X射线通过物质时，可分为三部分： 1.透过物质按原来方向传播---X射线透射： 拍摄医学透视照片，机场安全管理或工业上作为材料内部品质鉴定。 2.被散射---X射线衍射： 利用散乱X射线得到物质的结晶信息(构造） 3.被吸收从而产生荧光X射线---X射线荧光： 元素组成和镀层厚度等信息 2.2 X射线荧光的产生： 当能量高于原子内层电子结合能的高能X射线与原子发生碰撞时，驱逐一个内层电子而出现一个空穴，使整个原子体系处于不稳定的激发态 然后核外电子自发地由能量高的状态跃迁到能量低的状态。 当较外层的电子跃入内层空穴所释放的能量不在原子内被吸收，而是以辐射的形式放出，便产生X射线荧光，其能量等于两能级之间的能量差。 因此，X射