真空技术报告TurboPump.ppt

Turbo Pump抽氣原理 分子流與黏滯流 性能參數 工作範圍可從大氣壓力一直到超高真空，但因為渦輪分子幫浦在大氣壓力之下工作效率很低，所以需有一個旋轉幫浦做為前級幫浦。 工作壓力範圍 10 ～ 10 torr 前級幫浦的工作壓力範圍 1～10 torr 。 終極壓力為 10 ~ 10 torr 性能參數 壓縮比(Compression ratio 壓縮比與渦輪葉片、轉速、分子量有關 分子量大的氣體有高的壓縮比 K 對氮(或在空氣中)的壓縮比為10 ～10 對氦為10 對氫為10 性能參數 壓縮比 不同的前級壓力也會有不同的壓縮比 性能參數 抽氣速率(pumping Speed) 通常抽氣速率隨壓力變化的曲線及被抽氣體分子的大小而不同 Turbo Pump結構 Pump 軸承介紹 Pump 的軸承是連接馬達與轉子的物件，可以依照 供油料、軸承材質及安裝方式分為以下四種： (a)油潤滑滾珠軸承 (b)脂潤滑軸承 (c)陶瓷軸承 (d)磁浮軸承 應用範圍 渦輪分子幫浦具有高真空度、高潔淨度、運轉平順及高穩定度等優點 分析儀器: 質譜儀、氣體分析儀、電子顯微鏡 半導體製程: 濺鍍、鍍膜、蝕刻 工業上應用: 爐管、電子元件製程 參考文獻 [1] “真空技術與應用” 國科會精密儀器發展中心出版 [2] “真空技術精華” 蘇青森著 [3] “超高真空實驗” 張蓉著 [4] “利用DSMC 於渦輪分子幫浦之流場分析”行政院國家科學委員會補助專題研究計畫成果報告 [5] ‘’渦輪分子真空幫浦葉片設計參數分析”國立中山大學機械工程學系 [6] “真空幫浦裡面-擴散幫浦的原理” [7] “實驗室的簡單介紹” [8] 渦輪分子幫浦-互動百科 [9] “”.tw/search?hl=zh-TWgbv=2gs_upl=16843l16843l0l17703l1l1l0l0l0l0l79l79l1l1l0q=Turbo%20Pumpum=1ie=UTF-8tbm=ischsource=ogsa=Ntab=wi * * 真空技術報告Turbomolecular pump (渦輪分子幫浦) 指導老師:吳文端 老師 班級 : 碩研光電一甲 組員 : 陳建翔 MA0L0201 林苔伊 MA0L0220 Outline 抽氣原理 性能參數 結構 Pump 軸承介紹 抽氣系統設計 應用範圍 參考文獻 Turbo Pump抽氣原理 當流體處於分子流狀態時，氣體分子密度低，分子平均自由徑大於幫浦的特徵長度，因此氣體分子與壁面碰撞之機率遠大於分子間的碰撞，此時若利用高速旋轉之轉子或葉片將動量傳遞給氣體分子，使其獲得一額外的速度分量而朝出口處排出， 便能產生抽氣作用，如下圖。如果在黏 滯流的情形，氣體分子的密度高，分子 間互相碰撞的機率會大於分子和 運動表面互相碰撞的機率，於是 抽氣的效果就很低。 葉片將動量傳遞給氣體分子示意圖 -1 -10 -2 -9 -10 8 9 3 5 max Turbo Pump結構 Turbo Pump運轉機制是由高速轉動馬達帶動軸承與轉子葉片進而帶動分子，使分子與靜子葉片及動子葉片產生碰撞，然而分子朝一個方向離開pump。 Turbo Pump結構 一個pump的性能取決於葉片的設計和轉子的速度，包括葉片的角度、葉片的寬度和葉片的距離，都影響了幫浦是否能夠以最佳的狀態來運轉。大部份現代化的渦輪分子設計，是在入口處用低壓縮、高抽氣速度的開放式葉片裝置，而在出口處以高壓縮、低抽氣速度的封閉式或重疊式的葉片裝置。這樣的組合提供了一個好的抽氣速度和全面性的壓縮比。 Turbo Pump結構 Turbo Pump可分為單轉子垂直式與雙轉子水平式，但兩種pump的抽氣方式是相同的。下圖為兩種不同形式之pump。 單轉子垂直式 雙轉子水平式 Turbo Pump結構 Pump優點 Pump缺點 單轉子垂直式 1.製造容易，成本低 2.被抽氣體可直接進入抽氣轉子，故具有較大的抽氣率 3外型與擴散pump相似，改裝容易 1.常置於反應室下方，易受損 雙轉子水平式 1.轉子結構較易對稱平衡，機械震動程度較小 2.更換內部轉動軸承較容易，更換後使用者可以自行進行平衡調整及校正 3.停機進行放氣時，可承受較大的空氣壓力 4.配合各種指向的進氣法蘭可以任意角度進行安裝在真空系統 1.氣體垂直進入轉軸，能量損耗較大 2.直角入口處部份氣體被堵住 表為兩種不同pump優缺點的比較 Turbo Pump結構 Turbo Pump拆解 垂直式Turbo Pump 外觀 軸承的儲油盒 Turbo Pump結構 軸承內的滾珠 轉子與滾珠系統 Turbo Pump結構 靜子葉片 P