2009-湘大-铁电薄膜及FRAM的进展综述.pdfVIP

铁电薄膜及铁电存储器的研究进展／周益春等 · 1 · 铁电薄膜及铁电存储器的研究进展。 周益春，唐明华 (湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室，湘潭411105) 摘要 铁电薄膜是具有铁电性且厚度尺寸为数纳米到数微米的薄膜材料，因其在非挥发性铁电随机存储器方 面的潜在应用而受到广泛关注。综述了新型无铅、无疲劳Bi4Ti3()1z(BIT)基铁电薄膜材料的制备和改性及性能表征 方法，阐述了铁电薄膜的3种失效机制及铁电薄膜存储器的研究现状，最后提出了铁电薄膜及存储器今后可能的研 究方向。 关键词 铁电薄膜掺杂改性失效机制铁电薄膜存储器 中图分类号：TN384 AdvancesinResearchOilFerroelectricThinFilmsandFerroelectric Memory