微致动器-浙江大学光电系.ppt

微纳米光热膨胀效应的理论模型 微型光热驱动原理及驱动机构示意图 ? 光镊技术（Optical Tweezers ） 激光的单位发光面积产生的光功率，比太阳高千倍。1960年代激光问世以后，具有高光子密度的激光才使光具有动量这一属性得到充分的显示。科学家不仅用光的力学性质来冷却原子，还发明了光镊这项奇特的新技术，光镊利用激光产生的10－12N力实现对微小粒子的捕获与操控。可见，高光子密 度光束的力量是不容忽视的。? 反作用力 反作用力 细胞 焦点 透镜 激光 作用力 （光子动量变化） 作用力 （光子动量变化） 合力 光镊的激光束对细胞的作用原理图解。 光镊系统结构图 光镊系统实物照片 光镊是利用光与物质相互作用产生力学效应的原理设计的，是用激光束实现对微小粒子的操纵，因而具有无机械接触，无机械损伤，遥控，不干扰粒子的周围环境等突出的优点，是对微米量级微小粒子进行操控的特有手段，在纳米生物科技中，是生物分子器件组装的理想工具。光镊微操纵仪在生命科学、细胞工程、基因工程、生殖医学、分散体系、制药、环保等众多的涉及微小粒子的科学和技术部门有广泛的应用。 ? 光镊光源：波长780nm，0～60mw可调，可操控微 米级透明小球，如4 ?m 酵母细胞； ? 捕获物镜100 倍，油浸NA=1.25； ? 显微系统分辨率＜1 ?m；? 系统总放大倍数＞1000 倍； ? 操控方式：手动，平台移动范围：110mm×70mm； 光镊的操控范围：X-Y 平面6mm，视样品池大小定； Z 方向＞10 ?m； ? 静态图象采集与动态图象采集；? 目镜和显微屏同时观察。 光镊的技术指标 14-8 14-9 纳米光镊 李银妹 中国科技大学激光生物实验室 红细胞直径 实验硅球直径 微管直径 DNA直径 25nm 2nm 7-8.5um 1um 细胞水平 纳米光镊技术 分子水平 40/88 激光使液体发生弯曲 科学家发现了一种用激光使液体产生弯曲的方法，这一研究结果发表在2007年3月30日的 《Physics Review Letters》上。 来自法国和美国的物理学家利用激光产生了长而稳定的液体束，该液体束比人的头发还要细。当对准不同的角度时，这些液体束就会弯曲，从而变成驼峰状。以上发现有助于生物医学和技术的研究，因为它提供了一种控制通 过极窄的通道的液体的方法。 14.7 压电陶瓷微驱动技术 图中所示为一压电陶瓷片，P为极化方向，当如图中所示加上与极化方向相同的电场方向时，其沿t方向会伸长 ?t=d33V，沿l方向收缩 ?l=d31V(l/t) ，如果将电场方向颠倒，则在t方向上为收缩，l方向上为伸 长，收缩与伸长量不变。 P l t 收缩 + － ? Piezoelectric Effect: Applying stress on piezo materials causes electric polarization.? Reverse Piezoelectric Effect: An electric field applied to a piezo material causes mechanical strain. ? Piezocrystals: Quartz，BaTiO3 ，LiNbO3 . ? Piezoceramics: Pb(Zr, Ti)O3 即PZT. 压电效应与逆压电效应 Stack PZT Tube PZT ＋ — ＋ — d31= ?1 to ?3?/V d33= 2 to 6 ?/V 例如: 要产生3 ?m的位移，约需施加250V电压。 ?l=d31V(l/t) 压电陶瓷的独特性能 ? 极高的位移分辨率：0.01nm～0.1nm； ? 较高的响应频率：最高约100 kHz； ? 简单而有效的控制：电压控制； ? 很高的硬度和刚性：理想的固有频率； ? 很好的热稳定性：可在各温度下工作； ? 制备和制作较容易； ? 价格适中，等等。 微纳领域 广泛应用 压电 扫描器 压电 微驱动 压电 马达 Inch- worm 冲击驱 动机构 压电行 走机构 其他 ? 压电陶瓷扫描器 ? 压电马达（Piezo Impact Drive Motor） ? Impact drive mechanism, IDM之一 开始 突然伸长 U t 收缩加速急停，步进 细胞操作 14-10 ? 实现很小的步长：如1 nm～ 1 ?m； ? 达到较高的(相对)速度：如最高1～10 mm/s； ? 简单而有效的步长控制：调节电