不同类型薄膜热电偶性能分析3讲述.doc

薄膜热电偶热电特性分析与试验 摘要：薄膜热电偶具有体积小、操作简便、优点在一些精确测温显示出了极大的。采用法生产的热电偶组合几乎是无限的NiCr/NiSi薄膜热电偶NiCrSi/NiSiMg薄膜热电偶The thermo-electric property analysis and experiment of thin-film thermocouple Abstract：thin-film thermocouple has advantages of small volume，easy to operate, high accuracy,etc.In some for accurate temperature measurement under special circumstances,shows the great advantage.By magenetron sputtering method in the production of thermocouples on the material composition is almost unlimited.In this article,the NiCr/NiSi thin-film thermocouple, NiCrSi/NiSiMg thin-film thermocouple under static repeatability, using life, temperature limit, such as comparative analysis, in order to in use can be better adjust measures to local conditions. And compared with a university in Dalian production of thin-film thermocouple test, verification process on the properties of thin-film thermocouple. Thin-film thermocouple as a new type of thermocouple, and other special parts of engine blade surface temperature measurement has wide application prospect. 1 引言 在研制初期，采用磁控溅射的方法镀制膜层，同时敏感层与基体之间的绝缘问题是薄膜热电偶制作过程中遇到的最大阻碍，薄膜热电偶的制作过程中，为解决其绝缘问题，选用陶瓷基体，陶瓷基体上镀制薄膜层不需要考虑热电偶的绝缘问题。通过与大连某高校制作的薄膜热电偶进行对比试验，发现薄膜热电偶的制作工艺尤为重要，通过改变工艺反复制作、试验、分析，找到较为合理有效的制作工艺制作出了K型与N型薄膜热电偶，对其进行热电特性校准试验，并对试验结果进行分析。通过对试验结果的分析，初步认定我们制作的薄膜热电偶的重复性、稳定性基本达到使用要求。 2 薄膜热电偶结构 本文提到的K型与N型薄膜热电偶是以陶瓷为基底，采用磁控溅射的方法分别以NiCr/NiSi（K型）与NiCrSi/NiSiMg（N型）为正负两级镀制在基底上，在一端形成节点，薄膜热电偶见图1、图2。 图1 K型薄膜热电偶 图2 N型薄膜热电偶 K型薄膜热电偶在薄膜热电偶试制阶段，选择耐高温绝缘性好的陶瓷热电偶做基底，在陶瓷热电偶表面镀NiCr-NiSi薄膜层，膜层厚度1μm，在敏感层表面镀制1μm的Al2O3做为保护层，热电偶结构见图3。同理N型薄膜热电偶，在陶瓷热电偶表面镀NiCrSi-NiSiMg薄膜层，膜层厚度1μm，在敏感层表面镀制1μm的Al2O3做为保护层，热电偶结构见图4。试验原理见图5。 图3 K型热电偶结构 图4 N型热电偶结构 图5 实验原理 3 薄膜热电偶制作工艺 在制作过程中通过改变制作工艺，制作出一套较好的试验件，并与大连某高校制作的同样材质薄膜热电偶进行对比试验。从而验证出我们制作的薄膜热电偶更为优秀。试验结果见表1。 表1 与大连某高校薄膜热电偶对比试验结果 温度℃ 温差℃ 自研薄膜热电偶 大连薄膜热电偶 300 -0.04 58.4 400 0.82 57.1 500 0.64 66.2 4 薄膜热电偶热电特性试验原理 4.1 NiCr-NiSi（K型）薄膜热电偶温度标定 采用直径为0.3mm的丝式标准K型热电偶作为参考热电偶进行热电特性，利用数字电压表对信号进行采集，输出信号为电压信号，参照《热电偶分度表》用差值法将电压信号