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烟台汽车工程职业学院 ?( 2010 )级专科生毕?业设计(论文) 开 题 ? 报 告 论文题目：? ? 报告时间：2012?年10月  ? 一、课题研究的背景?和意义 微机械角速率传感器是近些年来发展的新一代惯性仪表,已有十余年的历史，与传统的传感器相比，采用MEMS技术制作的微型角速率传感器不仅将具有传统角速率传感器耐冲击、抗过载的特点，而且还将具有体积小、重量轻、功耗低、价格便宜的特点，适合利用微电子技术大批量生产。不仅在军事领域有很好的应用前景，而且在民用领域也将得到广泛的应用，如相机防抖、汽车惯导系统、智能玩具等。 因而，它是是未来低、中精度传感器的理想换代产品，也是惯性技术向民用领域大量推广应用最有前途的仪表。随着微机械加工技术的发展和信号处理技术的发展，微机械角速率传感器的精度正不断的提高，应用领域也将不断扩大。3.1研究方法 ?（1）对射流角速率传感器的?版图进行优化设计，使角速率?传感器的结构达到最理想值；? （2）使用ANSYS程序?，建立有限元模型，进行模态?分析。 （3）解决制作过程?中遇到的工艺难题，尤其是在?热敏电阻丝的制作，键合工艺?，以及ICP刻蚀中出现的问?题。 （4）完成流片试验，?制作出微型射流角速率传感器?样片，进行封装和测试。 本?次论文是突破了用传统机械加?工方法制成的射流角速度传感?器，将MEMS技术用于射流?角速度传感器，为射流角速度?传感器的微型化发展开辟了一?条新途径。 -------?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?----- 内容示例： （?1）对轿车车身修复技术进行?认识和了解，并尽最大努力进?行优化； （2）使用问卷调?查法向有关专业人士进行系统?的调查（调查时要有礼貌，细?致的调查，设计调查问卷时要?细致，不可遗漏重要的问题）?； （3）在解决问题时要结?合网上的知识，细致的分析；? （4）调查结束后要写总结?，写出自己的收获。 本次论?文是为轿车车身修复技术做出?总结性的文章，为提高轿车车?身修复技术开辟了一条新途径?。 红字部分按照论文实际内?容替换。 --------?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?--- 3.2措施 （?1）参加反应的气体（SiC?l2H2和NH3）和非反应?气体混合物从管口部位进入，?运输到具有一定长度的管道淀?积区内。 （2）反应物分子?随主流气体扩散到达衬底表面?并吸附在衬底表面上。 （3?）吸附在衬底表面上的反应物?分子发生化学反应生成Si3?N4沉积在硅表面上，而另一?产物HCl气体很容易外扩散?离开表面。 （4）反应后的?气体被抽出积淀区。 LPC?VD生成Si3N4是不定型?的介电材料，大约含有8%的?氢原子。温度、压力，反应物?浓度均对该工艺有影响。 -?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?------- 内容示例：? 首先，根据指导老师提供的?课题在网上和图书馆查阅相关?文献。 其次，对发动机技术?原理和常见故障进行调查并到?相关企业进行参观实习。 最?后，整理文献和相关问卷，对?以了解的发动机新技术和故障?进行分析并说明。 红字部?分按照论文实际内容替换。 ?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?-------------?------- ?四、课题研究工作的步骤、进?度 2005.11—200?5.12 论题了解 ? 阅读了与论题?有关的基础性文献，对射流角?速率传感器有一个较全面的了?解 2005.12—200?6.3 流片实验 ? 对射流角速率?传感器的版图进行流片，掌握?每个工艺步骤 2006.4?—2006.9 模?拟分析 使?用ANSYS进行建模分析，?提出问题，改进版图 200?6.10—2006.11 ? 版图设计 ?