扫描探针显微镜系统教材.ppt

扫描探针显微镜系统 该系统功能有： 1、扫描隧道显微镜 2、原子力显微镜 3、液相原子力显微镜 4、导电原子力显微镜 5、扫描探针声学显微镜 6、压电力显微镜 7、力调制成像 8、纳米加工与操纵 9、加热台系统 10、磁力显微镜/静电力显微镜 1、扫描隧道显微镜(STM) STM是根据探针和样品之间由于隧道效应产生的隧道电流进行成像的； 样品：必须是导电的； 探针：直径约0.25mm,常用的有铂铱合金、 钨探针 2、原子力显微镜（AFM） AFM是利用微悬臂感受和放大悬臂上尖细探针与样品原子之间的作用力，来呈现出样品的表面形貌，具有原子级的分辨率。与STM相比，样品可以是导体也可以是非导体。 3、液相原子力显微镜 4、导电原子力显微镜 在其模式下，扫描时，同时得到: （1）表面形貌像; （2）电流像或电阻像. 故其是一种在纳米级上分析样品电学特性的重要检测技术。 二、扫描探针显微镜 5、扫描探针声学显微镜 （1）有扫描探针显微镜的高分辨率表面成像优势 （2）有扫描声学显微镜的非破坏内部成像特点。 二、扫描探针显微镜 6、压电力显微镜 其是检测铁电样品压电性能的一种新技术，利用其可在纳米尺度上得到铁电样品的压电性能空间分布。 7、力调制成像模式 其是研究样品表面上不同硬度和弹性区域的SPM技术，也是得到两个信息：形貌信息和力调制数据。使用力调制技术在那些形貌特征差别不大的表面上，进行表面相对弹性的观察是很有意义。