物理光学-3光的干涉303课件.ppt

(2).测量微小物体的厚度 (3). 测量微小角度. 定域深度 干涉条纹不只局限在定域面，在定域面附近的区域里也能看到干涉条纹，这一定的区域深度称为定域深度 定域深度的大小 与光源宽度成反比 光源为点光源时，定域深度无限大，干涉变为非定域的 用眼睛直接观察比成像仪器进行观察更容易找到干涉条纹 原因 人眼的瞳孔比一般透镜的孔径小许多，结果定域深度增大 眼睛瞳孔对光束的限制 图3.44 楔形平板的干涉 θ2 A C S P B β=0 θ1 n n? n? 2、光程差计算 板厚度很小，楔角不大 用平行平板的公式近似 前提： 结果： 假设： 楔形平板的折射率是均匀的，光束的入射角为常数 结论： 干涉条纹与平板上厚度相同点的轨迹（等厚线）相对应，这种条纹称为等厚条纹 它是厚度 h 的函数，在同一厚度的位置形成同一级条纹。 l l 3、实验装置 当平板很薄，定域区域在薄板表面，可直接观察，如水面上的油膜，肥皂泡等薄膜 透镜L2的作用，在成像面上观察 对于厚度较大的平板采用如图所示的装置 垂直入射时的光程差 定域面 （1） 对于折射率均匀的楔形平板，条纹平行于楔棱 Dh (2) 相邻条纹 相邻两亮纹或暗纹对应的光程差之差 都为l，所以从一个条纹过渡到另一个 条纹，平板的厚度改变 （3）条纹间距 （4） a （5） 与楔角成反比与波长成正比 干涉条纹分布的特点： e ek ek+1 明纹 暗纹 劈棱 （适于平行光垂直入射） (1). 当有半波损失时，在劈棱 处为暗纹， 否则为一亮纹； (2). 干涉条纹是平行于棱边的直条纹 (3). 相邻明（暗）纹间距 (4). 楔角愈小，干涉条纹分布就愈稀疏 测细小直径、厚度、微小变化 Δh 待测块规 λ 标准块规 平晶 测表面不平度 等厚条纹 待测工件 平晶 （二）. 等厚条纹的应用 1. 劈尖的应用 (1)检测待测平面的平整度 由于同一条纹下的空气薄膜厚度相同，当待测平面上出现沟槽时条纹向左弯曲。 待测平面 光学平板玻璃 将微小物体夹在两薄玻璃片间，形成劈尖，用单色平行光照射。 由 有 例如用波长为589.3nm的钠黄光垂直照射长 L=20mm 的空气劈尖，测得条纹间距为 例题 折射率为n=1.60的两块平面玻璃板之间形成一空气劈尖，用波长λ=600nm的单色光垂直照射，产生等厚干涉条纹，若在劈尖内充满n=1.40的液体，相邻明纹间距缩小Δl=0.5mm，求劈尖角θ。 解：设空气劈尖时相邻明纹间距为e1，液体劈尖时相邻明纹间距为e2，由间距公式 例题 在检测某工件表面平整度时,在工件上放一标准平面玻璃,使其间形成一空气劈尖，并观察到弯曲的干涉条纹，如图所示。求纹路深度H。 解 若工件表面是平的,等厚条纹应为平行于棱边的直线条纹。由于一条条纹对应一个厚度，由图的纹路弯曲情况可知， 工件表面的纹路是凹下去的。 H l a ? 工件 标准平面 由图：?=H/a 因 ：l? =?/2, 所以纹路深度 例题2-19 制造半导体元件时,常常需要精确地测量硅片上的二氧化硅(SiO2)薄膜的厚度,这时可用化学方法把二氧化硅薄膜一部分腐蚀掉,使它成为劈尖状。已知SiO2和Si的折射率分别为n2=1.57和n3=3.42,所用波长为?=6000?，观察到劈尖上共出现8条暗纹,且第八条暗纹恰好出现在斜面的最高点。求SiO2薄膜的厚度。 解：由薄膜公式，得： （此时尖顶处是亮纹） 取 m=8, 得 SiO2 e 1.57 3.42 Si （三）牛顿环 S 如图所示，在一块平面玻璃上放置一曲率半径 R 很大的平凸透镜，在透镜凸表面和玻璃板的平面之间便形成一厚度由零逐渐增大的空气薄层。 当以单色光垂直照射时，在空气层上会形成一组以接触点 O 为中心的中央硫、边缘密的圆环条纹，称为牛顿环。它的形状与等倾圆条纹相同，但牛顿环内圈的干涉级次小，外圈的干涉级次大，恰与等倾圆条纹相反。 白光入射的 牛顿环照片 （三）牛顿环 若由中心向外数第 N 个暗环的半径为 r，则由牛顿环的实验图可知 由于透镜凸表面的曲率半径 R 远大于暗环对应的空气层厚度，所以上式可改写为 S （1）测量原理 因第 N 个暗环的干涉级次为(N + l/2)，故可由暗环满足的光程差条件写出 由此可得 由该式可见，若通过实验测出第 N 个暗环的半径为 r，在已知 ? 的情况下，即可算出透镜的曲率半径。 应用: 牛顿环除了用于测量透镜曲率半径只外，还常用来检验光学零件的表面质量。常用的玻璃样板检验法就是利用与牛顿环类似的干涉条纹。这种条纹形成在样板和待测零件表面之间的空气层上，俗称为“光圈”。根据光圈的形状、数目以及用手加压后条纹的移动，就可以检验出零件的偏差