非晶第二章x课件.pptVIP

缺点： 由于真空度较低(10－2－10－8mmHg)，因此容易混入气体杂质，而且衬底温度在溅射过程中有可能升高，一般适宜于制备晶化温度较高的非晶态材料。 溅射的方法：以二极式为最简单，还有三极式；四极式、磁控子溅射、高频溅射等。近来还采用反应离子溅射的方法来制备氮化硅等薄膜。 溅射在非晶态半导体的研制中用得很普遍，也可用来制作磁泡非晶态合金如GdCo，Gd-Fe等稀土-金属非晶态合金。 * * 第二章 非晶体的形成和制备 人们从实验结果总结了形成多元非晶合金需要遵循的三条规律： （1）多元合金系要由三个以上的元素组成； （2）在主要组成元素之间要有明显的尺寸差别，尺寸差比 要大于12%； （3）在主要组成元素之间存在负的混合焓。 §2－1 非晶形成 这是因为多组元的过冷液体，具有更高度的随机密堆积原子 位形，新的局部原子位形和长程均匀原子位形，所以研究人员发现它有大的固液界面能，这能抑制结晶相形核；它还使原子重排变得困难，这导致了原子扩散的降低及粘度值的增大，所以这种过冷液体具有高的Tg值。它在结晶时要求长程范围内原子重排，这抑制了结晶相的生长。因此，符合三条经验规律的多元合金系具有非常低的熔化温度，它导致了较高的Tg/Tm值和较大的?Tx值。 上述三条经验规律是表象理论，并不是对所有非晶合金都适用，多数合金符合的很好，但也有例外。 例如Pd-Cu-Ni-P和Pd-Ni-P系非晶合金不完全符合上述三条经验规律。 因为Pd-Cu和Pd-Ni之间的混合焓接近零，而且Pd、Cu和Ni之间的原子尺寸差比小于10%。 这说明表象理论在指导非晶成分设计时存在一定的缺陷，有待于进一步完善。 长久以来，人们一直认为只有为数不多的材料能够制备成非晶态固体，通常把这些固体称为“玻璃态固体”。 这种看法是错误的，现在已认识到“玻璃形成能力”几乎是凝聚态物体的普遍性质。 正确的观点（例如1969年D. Turnbull 在评述文章中表述过的那样）是：如果冷却的足够快和温度足够低，几乎所有的材料都能够制备成非晶态固体。 与晶体相比，非晶态材料的一个基本特征是其构成的原子在很大程度上是混乱排列的，体系的自由能比对应的晶体合金要高，在热力学上属于非平衡的亚稳态，有转变成晶态的可能。因此关于非晶态合金的形成，通常可从结构特点，结晶动力学和动力学等三个方面加以考虑。 几个重要且常用的非晶形成温度参数： Tg: 玻璃化转变温度。 Tm: 熔化温度。 Tf: 晶化温度。 ?T: 玻璃转变温度和晶化温度之差 图2.1 原子的集合体凝聚成固态的两种普通的冷却途径。路径（1）是到达晶态的途径；路径（2）是到达非晶固态的快淬途径。 液体固化的两种方式: 不连续地变到晶体 2. 连续的到非晶体固体 (glass) 前者导致在一定的温度体积的突然变化——对于金属这是通常的方式 后者导致在一个小的温度区间体积的连续变化——对于陶瓷和塑料这是通常的方式 对于固化转变: §2－2 非晶态材料的制备方法 2-2 方法： (1) 由气相直接凝聚成非晶态固体。 (2) 由结晶材料通过辐照、离子注入、冲击 波等方法制得非晶态固体。 (3) 由液态通过快速淬火获得非晶态固体。 (1) 由气相直接凝聚成非晶态固体。 气相凝结技术由气相完全形成一个原子挨着一个原子的方式结合成非晶体完全避免了液体的形成。 对于 Si, Ge, Fe, Co, Bi… 但在这些方法中，非晶态材料的凝聚速率(生长速率)相当低，一般只用来制备薄膜。同时，薄膜的成分、结构、性能和工艺参数及设备条件有非常密切的关系。 采取的技术措施有真空蒸发、溅射、化学气相淀积等。蒸发和溅射可以达到极高的冷却速度(超过108 K／s)，因此许多用液态急冷方法无法实现非晶化的材料如纯金属、半导体等可以采用这两种方法。 (2) 由结晶材料通过辐照、离子注入、冲击波等 方法制得非晶态固体。 目前，离子注入技术在金属材料改性及半导体工艺中用得很普遍，在许多情况下是利用了注入层的非晶态本质。高能注入粒子在与被注入材料(靶)中的原子核及电子碰撞时，能量损失，因此，注入离子有一定的射程，只能得到一薄层非晶态材料。激光或电子束的能量密度较高(大约100kW／cm2)，用它们来辐照金属表面，可使表面局部熔化并以4x104－5x106 K／s的速度冷却。