2英寸双面Tl2212超导薄膜.pdfVIP

第 卷 增刊 低 温 物 理 学 报 !8 DE# -!8 年 月 :6FGHIH J,KLG+) ,M ),N HOCHL+KLH C6PIF:I ， !’’ %’ ,3Q - !’’ !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! ! 英寸双面#$!!%! 超导薄膜 阎少林 方 兰 何 明 路荣涛 马永昌 赵新杰 周铁戈 贾颖新 南开大学电子科学系，天津 ’’’(% 我们采用磁控离子溅射和后热处理的方法，在 （ ）单晶衬底上制作了 英寸直 )*+#, ’’% ! 径的双面 超导薄膜 薄膜的表面均匀，结构致密 光 测试表明，薄膜具有很纯 #$!!%! - - .$ !! ! ! 的 超导相，并具有 轴垂直于膜面的织构 电磁测试结果表明，薄膜的超导电性均 #$!!%! $ - 匀，临界温度 大于 ，临界电流密度 （ ， ）约 1 ! ，微波表面电阻 # %’’/ $ ((/ ’ % 0 %’ +2 34 % （ ， ）约 ((/ %’567 ’ -84 - ! % 引 言 由于高温超导薄膜具有的比常规金属低得多得微波表面电阻，因此，在微波滤波器等无 源器件应用方面具有着重要的意义 近几年移动通信在我国正以异常迅猛的速度发展，但目 - 前的移动通信普遍存在着频率资源紧张、基站覆盖范围小、射频干扰严重等问题 随着运营 - 业务的增加和扩展，这类问题正日益突出- 采用高温超导薄膜制作滤波器，取代蜂窝基站的 常规金属滤波器，是解决上述问题的最佳途径之一 高质量、大面积双面超导薄膜是制作超 - ［，］ % ! 导滤波器的基础材料 （ ）薄膜超导转变温度高（ ） ，可以在