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3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜研究.pdf
第 卷 增刊 低 温 物 理 学 报
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年 月 $3+SK,K P%TUS=A %1 A%2 VK4@KU=VTUK @3,+$, ，
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! 英寸双面#$% 高温超导外延薄膜研究
陈家俊 陶伯万 邓新武 刘兴钊 李德红
张 鹰 何世明 李言荣 羊 恺 张其劭
电子科技大学，成都 ’(()*
本文采用倒筒直流溅射方法（ ）结合基片变速双轴旋转方式原位生长 英寸双面
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高温超导外延薄膜 膜厚分布最大偏差小于 ，薄膜样品的中心与边缘部分的
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均达到 ， ， （ ） ， （ ， ） ， 值分布在
/(0 ! ( - !0 1234 (() ( - 56 # ’(738 990 ( - :; % 5 -5 ! - ’
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4=· 之间，表明样品均匀性良好
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关键词：高温超导薄膜， ，均匀性
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’ 引 言
在’)(738 以下高温超导薄膜的微波表面电阻与传统铜导体相比低 ’ 5 个数量级，这
使其在提高微波器件性能方面有着广阔的应用前景 有些特殊微波器件要求在大面积基片
-
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的两面制作高温超导薄膜 ，另一方面制备大面积超导薄膜也为高性能微波器件批量化、集
成化生产奠定了基础，所以近年大面积高温超导薄膜的制备工艺研究是高温超导应用领域
的热点-
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目前大面积单面高温超导薄膜的主要制备方法有激光脉冲沉积（ ） 、溅射沉积
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（ ） 、热蒸发（ ）和金属有机化学气相沉积（ ） 等 而双面薄膜
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