薄膜制备技术基础第2章概论.ppt

* * * * * * * C越大，实际抽速越大, 与体积流量，设计的时候需要考虑管道和真空泵的搭配 * 真空测量 真空系统 1.真空系统的结构示意图 真空室 泵 管路 阀门 真空测量 机械泵 分子泵 阀门 管路 闸板阀 真空室 真空测量 真空状态是气体分子运动的动态结果 漏气与放气 系统中气体的流动处于分子流状态 2.真空系统的组成 泵—负责抽空系统内的剩余气体 机械泵 扩散泵 分子泵 离子泵 吸附泵－钛吸附泵和冷凝吸附泵 真空室—安放实验装置 真空管路—连接真空系统 阀门—控制真空系统的连接情况 真空的测量 不同的真空要求由不同的泵和系统组成 3.表征真空系统的几个参数 (1)体积流速S（体积流率） 单位时间流过管道某一特定截面的体积 (3)流导C、流阻Z 表征气体沿管道流动的动力或阻力 Q=C(P2-P1), P1、P2为管道两端的压强 (2)流量Q（体积流率） 单位时间流过管道某一特定截面的的气体分子的量 稳定流动状态下流量守恒 串连： 并连： 串连时总流导小于任何连接的流导 (4)泵抽速S 泵入口处单位时间抽入的气体体积 (6)泵的有效抽速（实际抽速） 当一个容器由一根管道连接到泵进行抽气时，在容器出口处的抽速。 (5)泵抽除量R 表征泵的抽气能力 R=P1S 实际抽速的计算： S=Q/P=截面积*流速 系统实际抽速 Q=Sp·Pr=S·P=C(P-Pr) 分离变量，积分得： 其中： Pi为真空室初始真空度（t=0） P0为真空室极限真空度（t→∞） Pt为真空室某一时刻真空度 材料的真空性能 材料的扩散与渗透性 气体的渗透过程 气体分子碰撞外壁并吸附 吸附时有的气体分子能离解成原子态 金属表面 非材料金属没有，气体不解离 惰性气体不能溶解在晶格中，不能渗透 气体分子（原子）在壁面达到与环境气压相对应的平衡溶解度 与压强差、温度相关 在浓度梯度作用下向内壁扩散（关键环节） 在内壁解吸和释出 渗透速率 渗透率与气体和材料种类相关 金属：SS Cu Al (很小，忽略） Fe Ni（渗氢) 非金属：渗透过程和气体分子直径和材料空隙相关 避免使用多孔、粗结构、松软层状材料 材料的真空性能 材料的放气 溶解、吸附的气体在真空环境中解溶解吸 常温放气 有机材料：水汽，放弃速率高，随时间衰减慢 不宜做真空系统内部材料 金属 玻璃 陶瓷： 水汽 CO CO2放气速率低，随时间衰减快 高温放气 高温放气主要由体内扩撒过程决定 金属：CO H2 CO2 H2O 气体呈原子态，表面反应 玻璃、金属的表面层 经过化学清洗、去脂、抛光、烘烤降低放气性能 真空系统检漏 真空检漏的重要意义 抽气过程 极限压强dP/dt=0时 Pu=Q/Se 漏气与放气总和Q对有效抽速Se的比值 物理过程：一边抽气，一边不断的漏气，动态平衡 要得到低的极限压强：提高有效抽速、减低漏气量 漏气形成原因 系统微小裂缝：玻璃、金属、金属-玻璃封接、引线封接 肉眼不能直接观察，必须予以找出并修复（更换） 真空系统漏气的判断 抽不到预定的极限真空 材料放气 泵工作不正常 漏气 判断 测量系统压强变化 a: 压强保持P0不变。 既不漏气，也没有放气，泵不正常 b: 开始上升较快，然后饱和。放气 c: 直线上升。漏气，漏气量正比大气压（常数） d:开始上升很快，后来变慢，漏气、放气 漏孔大小 漏孔本质 漏气：在压强差作用下气体流动 气体流动：流量（单位时间流过的气体量） 用通过漏孔的流量表示漏孔大小 漏率定义：在漏孔一端为标准大气压，另一端低于0.01大气压，大气露点低于25C（干燥空气），温度23C，空气通过漏孔的流量 只要漏孔漏率相同，就可以认为完全相同 Torr.L/s Pa.L/s 同一漏孔，对不同气体漏率不同 分子态 He漏率为空气的2.7 漏率大=危害大？ 不确切 漏入一定气体量 引起的压强增长与容器体积大小有关 漏孔的危害是相对的 泵抽速大小 容器体积 容许漏率 极限压强 抽气、漏气（忽略放气）动态平衡 绝对不漏：不可能、不必要 漏孔的漏气足够小，平衡压强小于工作压强 容许漏率：真空系统正常工作所允许的最大漏气量 考虑到材料放气（消耗抽速） 抽速越大、压强越高，容许漏率高 常见真空设备容许漏率 漏率（Torr.L/s) 真 空 设 备 102 10 1 10-1 10-2 10-3 10-4 10-5 10-6 10-7 10-8 10-9 10-10 10-11 简单减压装置、真空过滤 减压干燥、真空浸渍 减压蒸馏、真空干燥 真空蒸馏、真空干燥 真空蒸馏、冷冻干燥 分子蒸馏、真空反应器 连续抽气的汞弧