ITO薄膜传感器检测环境中微量二氧化氮气体.pdfVIP

第三届环境横拟与污染控制学术研I寸会论文 11．o薄膜传感器检测环境中微量：氧化氮气体 焦正，吴明红．顾建忠．王德庆，石鑫 上海大学射线应用研究所上海201800 摘要：二氧化氮的检测在环境监控中是～项重要工作。本文采用溶胶凝胶技术制各的】T0 薄膜传感器，用于二氧化氮气体检测，对高浓度和微量二氧化氮气体都有很好的灵敏度和选 择性。通过改变_：[=作条件，可以适用于不同二氧化氮浓度的环境下使用。 关键词：传感器；薄膜：二氧化氮；环境检测 一、引言 ITO(铟锡氧化物)薄膜主要用于平扳显示器【】】、太阳能电池【2】和有机发光二极管[3， 41。近年来研究者发现rrO薄膜还可以用于传感器，检测氮氧化物和四氯化碳气体【5．8]。 11D薄膜的弗4备方法有化学气相淀积(91、真空蒸发【101、反应蒸发【11]、脉冲激光淀积 【12，13】和磁控溅射【14】。本文采用溶胶凝胶法制备了11、0薄膜传感器，用于二氧化氮气体 检测．对高浓度和微量二氧化氮气体都有很好的灵敏度和选择性．可以适用于不同二氧化氮 浓度的环境下使用。 二、实验 IT0薄膜采用溶胶凝胶技术制备。金属铟(分析纯，上海试剂二厂)溶于Imol／l硝酸中， SnCl·溶液。 得到硝酸铟溶液。sncl45H20(分析纯，上海试剂二厂)溶于去离子水得到O、lM 在snch溶液中滴入数滴盐酸以避免水解。之后硝酸镏溶液和snck溶被以锡镏摩尔比 sn：In=l：4的比例混合。掺杂元素以硝酸盐或盐酸盐的形式加入混合溶液中。混合溶液加热 回流1hr，然后在60℃下老化24小时以形成胶体。 清洗干净并事先制备好金电极和氧化钉加热电阻的氧化铝衬底在上述制得的胶体溶液 中提拉5次，自然干燥后在马福炉中以5℃，，min的升温速率升温之500℃，保持30mlnf然 后自然冷却至室温，得到rrO薄膜传感器。ITO薄膜的厚度为300nm。 NO，气体和干燥空气通过质量流量计进入测试箱。通过调节流量．N02的浓度可以控 膜传感器在N02气体中的电阻，Ra是在空气中的电阻。 三、结果与讨论 图I是ITo}薄膜传感器的温度一电阻曲线。rrD薄膜在室温下电阻为3Mn．但是当在 工作温度下(280℃)阻值降至几百kn。sn元素的含量对IT0薄膜阻值有重要影响，sn 含量的增加将导致电阻的上升。!sako等采用直流磁控溅射南4备的lTO薄膜锡铟摩尔比 Sn：In=l：9，阻值仅为60kn【5】。 圈1、温度一电阻曲线图 2、对N02的灵敏度曲线 图2是11、0薄膜传感器在不同工作温度下对N02的灵敏度曲线。从图2可以看出，币 同工作温度下rTD薄膜传感器有不同的敏感特性。在280℃，rr0薄膜传感器对浓度低干 200ppm的N02气体有最好的敏感性，而在180℃的工作温度下ITD薄膜传感器对高浓度的 NO：气体很敏感。图3是IT0薄膜传感器在280℃工作温度下对微量N02的灵敏度曲线。这 一结果证明通过调节工作温度，IT0薄膜传感器既可以用于检测高浓度的N02气体，也均J 蹦用于环境监测中检测微量N02气体。 图4是ⅡO薄膜传感器对H2、汽油、LPG、co和cH。的灵敏度曲线。从图4可以看 出．11’o薄膜传感器对H2、汽油、LPG、c0和cm的灵敏度都很低，同时由于这些常见气 一233— ——一茎兰曼堡苎堡垫兰堡墨丝墅兰苎竺塑叁堡苎 体都是还原性气体t对传感器的响应会造成传感器电阻降低．而N02是氧化性气体，对传 感器的响应会造成传感器电阻升高，因此其他气体不会干扰传感器对N02的检测。 圈3、对微量N02的灵敏度曲线 图4、对干扰气体的灵敏度曲线 圈5是掺杂元素对ⅡD薄膜传感嚣灵敏度的影响。所有元素的掺杂量均为2moI％。其 溶胶凝胶法制备的rro薄膜传感器对NO：气体有很好的灵镀度，而对H2、汽油、LPG、 cO和C也响应很低·通过调节工作温度，rro薄膜传感器对高浓度和低浓度N02都很敏感， 可以用于检测环境中的微量N02气体。 参考文献： sol