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Mg含量对Zn1xMgxO薄膜结构及透光性的影响.pdf
Mg含量对Zn，_xMgxO薄膜结构及透光性的影响
Effectsof contentonthestructuraland
Mg transmittance
of thin 、
films
propertiesZnl埘gxo
张 霞 李效民 陈同来 于伟东
ZHANGXiaLI CHEN Yu
Xiao-MinTong-LaiWei-Dong
中国科学院上海硅酸盐研究所 高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室 200050
State of PerformanceCeramicsand Microstructures．
Laboratory
Key High Superfine
of of
Institute of
CeramicsChinese 200050
Shanghai AcademySciences，Shanghai
摘要；采用超声喷雾热解法。在Si(100)和石荚玻璃衬底上，生长出没有相偏析、结晶质量好、不同组分比的
结构，没有MgO相生成，证明Mg可以有效地溶入Zn0的晶格中。Znl埘0薄膜具有极好的透明性，在紫外一可见波
段(400nm-一800nm)的光透过率在85％以上；此外，随着Mg的增多，ZnI埘s,o的吸收边出现明显的蓝移现象。
关键词：超声喷雾热解法 透光性 吸收边 蓝移
Znl埘gp薄膜
of no and
Abstract：Differentcontent films，with
phaseseparation
Mg Znl埘妒(x：o．06，0．12，0．19，0．24，0．27)thin
on substratesultrasonic
d鹪s spray
gooderystallinity，weredepositedSi(100)andquartz by
were to the and of
transmittancemeasurements crystaUinity properties
raydiffraction(XrtD)and employedanalyze optical
is
thefilms．11leeffectsof content011 andtransmittanceof fimswerestudied．Itcon·
structur
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