VAS维护保养作业指导书浅析.doc

VAS维护保养作业指导书 NO 版次 修订内容 生效日期 修订人 1 1.0 首次发行。 2014-11- 王晓玲 拟制/面板厂 王晓玲 审核 批准 会签 1 目的 指导VAS设备正确保养，规范员工正确维修保养设备行为，确保设备正常运转及人员安全事故，有效降低其故障率，提高生产机械效率。 2 适用范围 适用于上海天马制造中心面板厂ODF工程师和技术员 3 职责 按照保养SOP对机台进行保养，使机台处于良好的作业状态。 4 定义 4.1 PM：Prevent Maintenance预防保养 4.2 Utility：厂务端提供的水、电、气之通称 4.3 TMP：分子泵.将腔体有低真空度抽到高真空度的泵 4.4 Chamber：腔体 4.5 Table 基板搭载平台； 4.6 Nozzle 喷嘴； 4.7 MANUL 手动模式； 4.8 AUTO 自动模式； 4.9 Pin：受取基板的装置，可以擎住基板并与基板一同上升或下降。 4.10 CDA：即Clean Dry Air，指洁净的干燥空气，用于驱动气动马达，或破真空。 4.11 VAC：即Vacuum，指真空。 4.12 PCW：即Process Cooling Water，指制程冷却水，用于对管路进行冷却。 4.13 Drain：即无压排水。Main body: 机台主体部分Pump: 抽真空用泵轻故障：只需要进行故障排除就能够马上重新工作的故障 4.17重故障：在故障排除后必须进行重新启动才能重新工作的故障Touch Panel亮，出现下图Touch Panel的根目录界面。 图 1-1 此时会出现报警PC Community Error，原因是PLC与PC尚未建立通讯。 2.2长按UPS开关，将UPS打开 2.3将PC电源打开，双击桌面上的软件图标。此时T/P与PC间信号连接。 将报警PC Community Error Reset掉。 3、Pump 开启 3.1点击主界面的“Run ” 后，选择“Init”选项。点击界面的“DP1”、 “DP2”、“TMP”，此时DP1、DP2、TMP的电源被打开。如下图 图 1-2 3.2点击“Servo ready”、“Pump ready”。待两个按键变为绿色不再闪 烁时，说明Pump已开启完毕，Pump开启1小时后，工作状态稳定时，才可以将设备用于生产。 图 1-3 4、开机点检： 4.1根据真空贴合机《设备一级维护保养记录表》的内容进行点检。 二、真空贴全机台关机步骤 1、关机前确认检查操作 1.1确认上游无待投入在制品。 1.2确认自动运转确认Robot和机台没有干涉 图3-1 3.2.3 具体保养内容 周期 保养机构名称 项目 耗时/分 1个月 Utility 检查Utility连接部有无松动 确认Utility连 接部有无松动 20 1个月 Air，N2冷却水管道 Air，N2冷却水有无泄露 查看Air，N2冷却水有无泄露 30 1个月 camera镜头 camera镜头检查 查看camera镜头无脏污 20 1个月 配管、气管 配线，气管检查 有无磨损或摩擦痕迹 50 1个月 Chamber及上下定盘 Chamber及上下定盘清扫 各部清洗干净无异物 120 1个月 离子除电棒针头 离子除电棒针头清扫 使用酒精擦拭金属针头，再用气枪吹干 45 1个月 Pump油液 Pump油液液面检查 在标线范围为内 20 1个月 VAS的Z轴 Z轴 Sensor动作状态 原点over run senser动作确认 30 1个月 PC 散热风扇 PC 散热风扇检查 有无异音，转动是否顺畅 30 3个月 EZ，LZ传