一种侧链含羧酸基团的树脂的合成制备及其交联解交联体系光敏成像性能的研究.pdfVIP

助 锨 材 料 2006年增刊(37)卷 一种侧链含羧酸基团的树脂的合成制备 及其交联解交联体系光敏成像性能的研究’ 吴 倜，张伟民，李路海，郑卫平，杨 娜，蒲嘉陵 (北京印刷学院印刷包装材料与技术实验室，北京102600) 摘 要： 本研究合成了一系列含羧酸基团的亲和-J陡 件主要采用IR、膜厚变化等评价手段，缺乏更为直观 变化树脂(MAA-BuMA—St)。并采用改造后的UV一细致的评价手段。 VIS分光光度计、轮廓仪和SEM等手段对该树脂与二 本研究参考文献[6]，将苯乙烯(st)单元引入共聚 乙烯基醚(BPA—DEVE)和光生酸剂(PAG)相配合组物，加强链的刚性，改善并提高合成树脂的弱碱水溶 成的“三组分”光敏亲和性变化体系的成像过程和性能 性；并自行改造UV—Vis分光光度计，设计并搭建了一 进行了较系统考察。实验结果表明，优化后的树脂与 套在线溶解速率监测装置，可以定量的描绘膜层溶解 BPA-DEVE和PAG的配比为100；20：10％(质量分的动力学特征，从而能够更加直观细致地研究该光敏 数)，预烤版温度为160℃，预烤版时间为10min，后烤成像体系的交联解交联程度及其成像条件，给出了一 版温度为160℃，后烤版时间为10min的条件下，“三种溶解速率研究的新方法。利用该装置及其它测试手 组分”体系发生亲和性转变，从亲油变为亲水且弱碱水 段研究表明该光敏成像体系在一定条件下可实现从亲 可溶。 油变为亲水且弱碱水可溶，获得较大的亲和性反差，在 关键词： 含羧酸的高分子；二乙烯基醚；光生酸剂；亲 影像领域具有一定的应用前景。 和性变化 2 实 验 中图分类号：TQ324．8 文献标识码：A 2．1主要原料和设备 文章编号：1001—9731(2006)增刊一0550—04 1 引 言 亲和性变化树脂是指在某种物理或化学刺激下， 亲租性能发生变化，如从亲油变为亲水或从亲水变为 亲油的高分子材料。在众多可选择的树脂体系中，含 料为友情提供， 羧酸基团的高分子与适当的二乙烯基醚构成的可预交 联体系具有独特的优点，可以与适当的PAG构成高亲 和性反差的成像体系。在适当的温度下(如120℃)， 悯—＆卞k纣≥一。 二乙烯基醚与树脂的羧酸基团形成聚缩醛的交联结 H＆hk纣≤： 构，使树脂在失去亲水基团的同时，形成空间交联结 PAGl 构，极大地减少了树脂在(碱)水溶液中的溶胀，提升了 饥』口砉黜 树脂的抗蚀能力和尺寸稳定性。在后烤版过程中，在 PAG2 质子酸(由PAG曝光产生)的催化作用下，所生成的交 联结构发生酸解交联反应，同时重新释放出亲水性的 图1 PAG分子结构式 1MoleculestructuresofPAGs 羧酸基团。这样，在整个成像过程中同时完成了树脂 Fig 亲和性和高分子空间结构的变化，可以在曝光前后产 红外光谱测量使用SHIMADZU 生巨大的物理性能差异，形成高反差成像体系。 光谱仪(KBr压片)；差热和热重分析分别采用 NETZSCHDSC 日本的山岗亚夫教授所率领的团队在这方面开展