一种探针式微机械六维力传感器的设计与工艺.pdfVIP

一种探针式微机械六维力传感器的设计与工艺幸 孔德义胡圣军梅涛单建华孙磊 张东风张正勇 倪林 中国科学院合肥智能机械研究所，传感技术国家重点实验室 合肥230031 摘要：本文提出了一种探针式微机械六维力传感器的结构设计和加工工艺。该传感器的敏感结构由 两个具有“T”形结构的单晶硅梁通过背靠背粘接方式组装而成，在每个“T”形硅梁的正面都有三组 连接成全桥的压敏电阻，分别用于检测力和力矩的三个分量。传感器敏感结构的尺寸为3．5ram×2mm ×O．7mrn，它采用微电子技术及微机械加工技术制作。该传感器可利用微操作系统或微小型机器人为载 体，在常规多维力传感器难以介入的一些微小区域内进行多维力学量信号的测量。 关键词：六维力探针微传感器微机械加工 1．引言 六维力传感器作为一种能够同时获取多个力学量信号(三维力分量及三维力矩分量)的传感器，在机器人 技术领域已经得到应用【1,21。随着机器人技术的发展，对现有的六维力传感器提出了更高的要求，微型化已成 为六维力传感器的一个重要发展趋势，而MEMS技术则是实现这一目标的一种重要手段。新加坡南洋理工大 部分是平板式结构，因此难以介入一些微小区域如凹坑处的多维力信息测量。鉴于此，我们提出了一种具有“T” 形结构的探针式六维力传感器设计，并采用MEMS技术完成了该传感器敏感结构的制作。 、 2．结构设计与检测原理 本文提出的探针式六维力传感器敏感结构及其尺寸如图l所示，它由两片结构及尺寸完全相同的N型 (100)单晶硅材料背靠背通过环氧树脂粘接而成。为提高检测灵敏度，在两片单晶硅的背面各有一个凹槽， 组装后两个凹槽形成一个空腔，这样既增加了灵敏度，又提高了探针的机械强度。在探针的头部附近有一个 方形通孔，在两片单晶硅片组装成探针时起定位的作用；在对探针进行标定时，还可在通孔中固定一个微型 传力柱，便于多维力加载。两个凹槽和方形通孔经各向异性湿法腐蚀技术加工而成。力和力矩的最大量程设 计分别是1N和1N aim。为验证该结构设计的可靠性，我们采用有限元方法进行了数值计算，当六个力学 量分别取最大值加载时，探针的最大应力值为1．8X108Pa，远小于硅的极限屈服强度7×109Pa，因此在检 测量程范围内不会出现探针断裂的情形。 该六维力探针的检测原理基于单晶硅的压阻效应，在组成探针的两片单晶硅材料的正面各分布了八个P 型扩散硅压敏电阻，如图2所示。图中每个电阻的尺寸都是100umX10um，两条虚线之间是背面凹槽所在 电路组成7个桥路(5个全桥、2个半桥)，如图3所列。通过对这7路输出信号的迭代运算，实现对6个力 学量信号的解耦。由于篇幅所限，详细分析及推导过程参见文献[5】，这里仅给出单独加载6个力学信号时， 各电阻值的变化情况，如表l所示。表中“+”表示电阻值变大：“一”表示电阻值变小：“00”表示有变化， 但变化较小，对同组桥路输出电压的影响基本可忽略：“0”表示理论上无任何变化。 ·国家自然科学基金安徽省自然科学基金(050420308)资助． 113 l：4 一 Z 一 r ． ． ． I 上片 }I 1 I i l 0．3 l— 1．8 一I夏l 下片 图l “T”形探针结构及其尺寸(单位：mm) 图2探针上下两面压敏电阻分布示意图