一种用于差分电容检测的电荷DeltaSigma调制器的研究.pdfVIP

第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5 CHDiE：SE OFSENSORSANDACTUATORS 2006年10月 JOURNAL Oct．2006 A Modulatorfor Sensors ChargeDelta-Sigma WANG Zhan‘fei，LIZhi—hong。 (National Micro／NanoFabrication University，Beijing KeyLaboratoryof Technology，InstituteofMicroelectronecs，Peking no Abstract：T}1iS fl modulatorfor sensors．Thereis a paperinvestigatedchargedelta-sigma differentia-capacitance converterandthesensorareusedasthe inthe capacitance-to-voltage inputcapacitordelta-sigma intovariationalandaremodulatedtOa1一bit second-order changesareconverted charge digitaloutput．A charge modulatoris andestimatedviabehaviorallevelsimulationsSI眦Ⅱ．INK． delta-sigma analyzed using Keywords：capacitancesensor；delta-sigma． EEACC：1250 王展飞，李志宏’ (北京大学微电子研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室，={E京100871) 摘 的差分电容直接作为调制器环路的输入电容，差分电容的变化量首先被转换为变化的电荷，然后被调制成一位的数字输出信 号．文章最后给出了一个二阶的Delta-Sigma调制器的行为级仿真结果． 关键词：电容检测；Delta-Sigma；电容传感器 中图分类号：TN76l；TP212 文献标识码：A 电容式传感器是一种被广泛应用的传感器，如 受欢迎的一种技术，它具有结构简单、易于C阚6集成 电容式压力传感器、电容式加速度计和电容式角速 技术以及对模拟电路的精度要求不高等优点．在文 度传感器等．通常电容式传感器等效为一对差分可 变电容，如图1所示[3]，其电容的变化量直接反映了 用于电容信号读出，利用传感器的二阶传输函数作为 待测的外界物理信号的大小，电容变化量一般在 调制器环路的量化噪声整形滤波器，调制器建立在力 10-12--,10-18 F之间，如此之小的变化量对检测电路 反馈的基础上，在环路中需要一级C／V转换电路 提出了很高的要求． 在本文所研究的用于差分电容传感器检测的电 C 调制器的输入电容，不需要c／v转换电路． A—job乙B 图i差分电容传感器的等效电路