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2005年11月 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 珠海 一种线性霍尔效应传感器的电路改进 陆江 中国科学院微电子研究所北京100029 摘要：介绍了一种目前市场上大量使用的线性霍尔效应传感器，通过对电路结构分析给 出了改进关键特性的方法，使用HSPICE仿真器进行了模拟仿真，验证了提出方法的正确 性。 关键字：霍尔效应传感器双极电路 EEACC：1205：2570B：1130B 1引言 1879由E．F．Hall发现的霍尔效应，在近三十年由于永磁材料和稳压源的发展开始 得到广泛应用。当导体薄片构造的霍尔元件(HallElement)加上磁场B并通过一定的电 流I，在垂直于磁场和偏置电流的方向会产生霍尔电势V¨它正比于加在霍尔元件上的垂 直磁感应强度B及薄片上的电流I： V。=(RH／t)XGBI(1) 其中Rw是霍尔系数(取决于薄片材料的属性)，G是导体薄片形状决定的几何因子，t是薄 片的厚度。 霍尔效应产生的霍尔电压与磁场成正比关系，利用这种特性制造的传感器，大量使用 在汽车工业自动控制、计算机、家用电器等领域。具有低成本、高灵敏度、宽工作温度范 围、耐机械应力和耐久性强、适应于恶劣工作环境等特点，是一种理想的传感器。通常磁 场为1高斯时产生的霍尔电压大约30微伏，需要低噪声、高输入阻抗和中度增益的放大 器放大。采用标准的双极工艺或CMOS工艺可以容易的把具有以上特性的差分放大器同霍 尔元件集成到一起，同时还可集成温度补偿部分及所需要的稳压电源部分。采用标准Ic 工艺制造的霍尔传感器一般分为数字型输出和模拟型输出两种类型。模拟输出传感器直接 采用与磁感应强度成比例的摸拟信号结果作为输出，也称为线性霍尔传感器。数字型即通 常说的开关型霍尔传感器，具有“开”与“关”两个状态。一般是在模拟输出的信号后再 附加施密特触发器电路而转换成数字开关信号。数字型又有无极型，单极开关，双极锁定 三种类型。本文重点研究一种市场上广泛使用的线性霍尔传感器的电路结构，对关键特性 参数的提高给出改进方法，使用HSPICE进行了仿真验证。下面详细介绍这种线性霍尔传 感器。 2线性霍尔传感器 线性霍尔传感器的输出电压与输入磁感应强度成正比例关系。如图1示是一个典型的 线性霍尔传感器的逻辑方框图。包括霍尔元件、差分放大器及采用发射极开路、集电极开 路或推挽输出晶体管的输出部分(图1中采用的是发射极开路作为输出)。 线性霍尔传感器输入可以响应很宽范围内的正负磁场，所以输出电压可正可负。通常 偏置差分放大器在零磁场时输出为半电平(Vcc／2稳压电源的一半)。加正磁时，输出结果 大于半电平；加负磁时，输出小于半电平，但仍然为正值。在线性区时输出信号与磁场变 化成线性关系，磁场强度较大时进入饱和区，输出电压不再随磁场变化，正磁进入高电平 饱和，负磁进入低电平饱和，如图2。线性霍尔传感器的主要参数是磁感应灵敏度、偏置 电压及温度特性。一般根据用户应用方面的不同，需要对灵敏度和偏置电压进行调整，并 保证在不同温度下(特别是高温下)正常工作的能力。下面分析微电子所制造的一种线性 霍尔传感器的主要电路结构，给出调整灵敏度和高低电平的方法。 2005年11月 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 珠海 瑟 2 ·百饱和区 1磊◆． 图1线性霍尔传感器功能方框图 图2线性霍尔集成传感器输出特性图 3电路结构分析与改进 微电子所制造的这种线性霍尔传感器，使用标准双极工艺制造，线性电流源输出由供 电电压设定，随磁场强度成比例变化。电路结构具有低噪声输出特点，不需要采用外部滤 波，还包括薄膜式电阻，提高了温度的稳定性和准确性。下面分析其主要电路结构，给出 改进关键特性参数的方法。 3．1电路结构分析 整个霍尔传感器电路分为输入偏置部分、差分放大部分以及输出部分。图3给出霍尔 元件、差分放大部分以