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一种降低大功率激光系统中反射镜面热变形的设计方法.pdf

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号:06335I 一种降低大功率激光系统中反射镜面热变 形的设计方法 周乐平‘唐大伟 中国科学院工程热物理研究所100080 联系电话:010mail:dwtang国nail.etp.aC.cn 摘要:本文提出一种运用功能梯度结构以有效降低大功率激光系统中镜子温度和镜面热变形以及减 缓热应力的新方法。讨论了环形分布和高斯分布两种类型的激光源。有限元分析结果表明,通过这种 方法可使硅镜和铜镜的表面热变形降低一个数量级左右,并且还能同时显著降低镜体温度.讨论了代 表热学和力学性质的函数表达式的斜率对镜面热变形的影响,以期用于只有该功能梯度结构的镜子优 化设计和制造. 关键词:镜面,大功率激光,有限元分析,功能梯度材料。热变形 在设计大功率激光系统时,需要解决的一个基本问题是必须显著降低加热镜面的热 变形,以产生方向性高度一致的激光束并使得激光在传输过程中不产生偏转,否则将因 此而引起热透镜和激光偏转现象,在高热流密度条件下甚至会导致整个激光系统的失 效。为消除热透镜和偏转现象或者将其降低至可以接受的范围,有关研究人员在相关领 域进行了大量理论和实验研究工作。Apollonov等【l】于推导了镜面在高斯分布型激光热 源加热条件下的热变形解析解,将其与金属和合金材料的镜面在1kw的功率条件下的热 变形实验测量数据进行了比较,并得到了一致的结果。Evans[2]研究了球形、抛物线形 和高斯形镜面在给定激光源分布条件下的热透镜效应。实验研究方面主要包括两种方 结果表明,硅与铜以其相对高的导热系数和低的热膨胀系数而成为最具竞争力的镜面候 选材料。利用这些材料,研究者设计出各种不同的冷却技术。这些冷却方式没有采用直 接冷却后镜面及边缘的方法,而通常采用了改变镜子结构的方法,因为直接冷却时液体 压力将产生附加的镜面变形。改变镜面结构包括空腔、环形通道和蜂窝结构等,它们能 够在一定程度上有效降低镜面的热变形【4.7】。而Herrit等[8】的数值分析表明,在相同的 激光照射和液体冷却负荷条件下,硅镜的热变形要比铜镜的小,这使得在功率小于10kW 时大功率激光系统更多地采用硅镜作为镜面材料。最新的一种方法是将硅镜设计为复合 材料,其中包括硅层、铜冷却基底层及两种材料中间所添加的相变材料,这种方法兼有 铜的高导热系数和硅的低热膨胀系数两种优点【9】。例如,填充了石蜡,碳粉相变材料复 杂硅镜面在2kW的激光照射下的热变形降低为0.25脚。然而,鲜有文献报道激光功率 高于lOkW时的镜面热变形实验数据和理论分析结果。 由于功能梯度材料(FGM)具有优越的缓和应力和承受高的温度和大的温度梯度的 能力,因而可将其运用到镜面结构设计中。功能梯度材料是一种复合材料,通常由绝热 的陶瓷和抗裂变的金属组成,其间组分的体积分数连续变化而导致功能梯度材料的物理 性质发生连续变化,例如导热系数、比热容、密度、热膨胀系数、杨氏模量和剪切模量 等。近二十年来,对功能梯度材料的研究主要集中在热与应力分析、性能预测和材料设 料物性梯度变化的最实际办法是体积分数和混合律,这同时使得功能梯度材料问题的分 析解复杂化。运用有限元方法分析功能梯度材料问题是克服此类难题的最有效方法。 本文将有限元方法运用^丁.导热方程和运动方程,以分析火功率激光器在高斯分布和 1772 环形分布(也可以是两者的某种组合)的激光照射条件下的热变形(假设激光照射功率 还未能使镜面熔化)。分别运用向后差分法和隐式Newmark算法于导热方程和运动方程。 予以图形化。本文第三部分将比较不同加热功率符合和激光半径条彳,|:下的结果。进而将 讨论功能梯度材料物性的影响,以期通过改变材料物性的表达式探询人功率激光系统中 镜面结构设计的指导原则。 1.问题描述 如图l所示,圆柱坐标中有-Jr:度为L半径为尺的镜子。由一般化的热弹理论可推 导出以下连续方程【11】,其中线性能量方程为 · · 旯7’

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