第13讲压电传感器分解.ppt

压电传感器 压电效应 压电元件的常有结构形式 压电传感器的等效电路 压电传感器的应用 某些物质沿某一方向受到外力作用时，会产生变形，同时其内部产生极化现象，此时在这种材料的两个表面产生符号相反的电荷，当外力去掉后，它又重新恢复到不带电的状态，这种现象被称为压电效应。当作用力方向改变时，电荷极性也随之改变。这种机械能转化为电能的现象称为“正压电效应”或“顺压电效应”。 压电效应 石英晶体的压电效应演示 压电效应的可逆性 逆压电效应 电能 机械能 正压电效应 反之，当在某些物质的极化方向上施加电场，这些材料在某一方向上产生机械变形或机械压力；当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。这种电能转化为机械能的现象称为“逆压电效应”或“电致伸缩效应”。 石英晶体的压电效应 常见的压电材料可分为两类，即压电单晶体和多晶体压电陶瓷。 压电单晶体有石英(包括天然石英和人造石英)、水溶性压电晶体(包括酒石酸钾钠、酒石酸乙烯二铵、酒石酸二钾、硫酸锤等)；多晶体压电陶瓷有钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅系压电陶瓷、铌酸盐系压电陶瓷和铌镁酸铅压电陶瓷等。 如图所示为天然石英晶体，其结构形状为一个六角形晶柱，两端为一对称棱锥。 在晶体学中，可以把将其用三根互相垂直的轴表示，其中，纵轴Z称为光轴，通过六棱线而垂直于光铀的X铀称为电轴，与X-X轴和Z-Z轴垂直的Y-Y轴 (垂直于六棱柱体的棱面)称为机械轴。 如果从石英晶体中切下一个平行六面体并使其晶面分别平行于Z-Z、Y-Y、X-X轴线。晶片在正常情况下呈现电性。通常把沿电轴(X轴)方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应”，把沿机械轴(Y轴)方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应”，沿光轴(Z轴)方向的作用力不产生压电效应。沿相对两棱加力时，则产生切向效应。压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 极化强度的计算 dmn m—产生电荷的面的轴向 n—施加作用力的轴向 1）沿x方向施加力Fx ，产生厚度变形： 极化强度： Px = d11σx = d11Fx/lb = qx /lb 则： qx =d11Fx 与尺寸无关。 2）沿y方向施加力Fy ，产生长度变形： 极化强度： Py = d12σy = d12Fy/hb = qy /lb 则： qx = d12 Fy lb/ hb = d12 Fy l/ h 与尺寸相关 Sx = lb Sy = hb 由于：d11 = -d12 （各向异性）则：qx = -d11 Fy l/ h 3）沿Z轴方向施加力，无变形，无极化。 4）无体积变形，无极化。 1.并联 q’=2q U’=U C’=2C 并联接法输出电荷大，本身电容也大，时间常数大，适用于测量慢变信号，并且适用于以电荷作为输出量的地方。 压电元件的常有结构形式 (a)并联 + + － － － + 2. 串联 q’=q U’=2U C’=C/2 串联接法输出电压大，本身电容小，适用于以电压作为输出信号，并且测量电路输入阻抗很高的地方。 压电元件的常有结构形式 (b)串联 + － － + (a)并联 (b)串联 压电元件的常有结构形式 压电传感器既是一个电荷发生器，又是一个电容器。因此可有两种等效电路： 1.电荷源：内部的电荷发生器对C充电； 2.电压源：产生的电荷形成电压源，对外供电时需通过对等效电容充放电进行。 Ua = q/Ca 压电传感器的等效电路 一、测量特点： 1.对象 力及力的派生物理量（压力、位移、加速度等）。 2.静态测量 压电材料上产生的电荷只有在无泄露的情况下才能长期保存。故它不宜做静态测量，只能施加交变力，电荷才能得到不断的补充，才能供给回路一定的电流，故只宜做静态测量。 3.高阻前置放大器 减少晶片的漏电流以减少测量误差。 测量电路 二、前置放大器 由于压电式传感器的输出电信号很微弱，通常先把传感器信号先输入到高输入阻抗的前置放大器中，经过阻抗交换以后，方可用一般的放大检波电路再将信号输入到指示仪表或记录器中。(其中，测量电路的关键在于高阻抗输入的前置放大器。） 前置放大器的作用：一是将传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出；二是放大传感器输出的微弱电信号。 前置放大器电路有两种形式：一是用电阻反馈的电压放大器，其输出电压与输入电压(即传感器的输出)成正比；另一种是用带电容板反馈的电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比。由于电荷放大器电路的电缆长度变化的影响不大，几乎可以忽略不计，故而电荷放大器应用日益广泛。 应用 一、正压电效应 1、作为则量元件，可测最终能变为力的物理量如压力、加速度、冲击（汽车的冲击检测）、振动等；