化學鍍浴沉積法製備ZnO薄膜之性質.pdfVIP

中国颗粒学会第六届学术年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会 2008年12月 矿AnnualConferenceofChinese of cllm onParticle acrossTaiwanStraits SocietyParticuology SymposiumTechnology 化孥镀浴沉稹法裂借ZnO薄膜之性赞 裼仁僳1， 谢雒铭1， 骆焯翔2， 徐嘉禧1， 方昭驯1’2 (1虎尾科技大翠材料科掣舆工程系) (2虎尾科技大旱材料科旱舆缘色能源工程研究所) Bath 摘要：本研究利用化孥皴浴沉稹法(ChemicalDeposition，CBD)於玻璃基板上敷倩六方晶氧化辞薄膜，韭封析镀 畴同羯90rain及120 101cm2／V·scc。 其载子渡度捣1．33x10伸cm一，其鼋子遥移率羯3．46x 关键词：化孕皴浴沉横法；氧化锌；透明尊鼋氧化物 1 前言 裂程一化孥镀浴沉横法裂侑氧化锌薄膜，改燮裂程参敷 以提升载子漉度及鼋子遥移率，使鼋阻率降低，蓝探射 Conductive 透明尊鼋氧化物(TransparentOxide)庸泛 熟虞理温度的燮化封ZnO薄膜之结横舆鼋性之影譬， 虑用於平面颢示器和太赐能鼋池等方面。其中最稳著名 以期虑用於相网透明尊鼋氧化物虚桨。 Tin Oxide， 的是In203掺雅Sn形成之铟锡氧化物(Indium 2 实验步骤 ITO)，ITO薄膜之性夤雕然相喾良好，但是In是一獯稀 有金属，故其成本所需较高，稳钸省成本剐需另寻可替 裂程以康Eagle2咖玻璃作捣基材，先将基材以超 代之物。氧化锌中的Zn在自然界中蕴藏叟富，成本较 音波震盟约15分锺，缝丙酮清洗，置於内含去雕子水的 低，燕毒性，且其比ITO更容易蚀刻，故可作捣ITO的 烧杯中，以超音波震盟清洗豹15分撞碓保弑片的清漯， 替代材料。 放入烘箱内烘乾，碓定弑片乾燥後以氯化亚锡溶液舆氯’ 氧化锌是II一Ⅵ族化合物半尊髓材料其具有直接能 化钯溶液造行敏化、活化虎理，析镀前以去雕子水冲洗 隙且宽能带的特性，熔黠菊1975℃的氧化物，具良好的 蓝烘乾以保持其清漯。 化翠稳定性，载子渡度约揭1020~1030(cm。3)，其尊鼋横 反虑溶液所使用之檠品羯硝酸锌(Zn(N03)2： 制主要束自於化孕针量比之偏靛，保由於傅尊带的鼋子 利用金属雕子的掺雅舆氧空缺提供之施髓，作菊半尊髓 60℃，将经敏化、活化虎理的玻璃基材置於溶液中，ZnO 内自由戟子的主要柬源【l】。ZnO是一獯具有六方晶之缀 薄膜合成沉稹畴同捣90分锺舆120分缱，反虑裂程沉稹 ev 锌碛结耩(WurtziteHexagonalStructure)f毙带约3．37 完晕後，将弑片取出，以去雕子水冲洗蓝烘乾。