半导体激光器远场发散角的快速测量.pdfVIP

魏书军等：半导体激光器远场发散角的快速测量 半导体激光器远场发散角的快速测量 魏书军①石 冰 (山东大学计算机科学与技术学院 济南250100) 摘要介绍了一种计算机控制的半导体激光器远场发散角自动测量系统，它采用面阵 CCD测量和数字图像处理技术对半导体激光器远场发散角进行快速测量，其主要优点是 测量时间短、精度高，该系统适合用于大批量生产和使用半导体激光器的单位应用。 关键词半导体激光器，测量方法，远场发散角，数字图像处理，CCD 其工作原理是：LD发出的激光经过光衰减器后在 0 引言 屏幕上形成激光光斑，该光斑经透镜成像于CCD的 激光器发散角是评价其性能的一个重要参数， 光敏面上，CCD将光信号转换成视频信号，输出给图 发散角的测量有很多种，包括扫描法11-3]、双折射像采集板而形成光斑的数字图像。通过计算光斑的 法【4，5|、聚焦测量法【6]和CCD探测法[7,8]等等。扫描大小，利用光学成像公式，计算出半导体激光器的发 法是采用步进电机带动光电探测器分别在LD出光 散角。同时通过计算得到探测器获得激光光斑的二 面方向以固定的距离进行扫描，每走一步，测量一个 维分布图像。该方法的优点是：(1)CCD的像元面积 光强值，根据测出的光强值绘出光强分布曲线，从而 根据发散角的定义求得发散角。该方法不仅适用于 数据采集、处理全部由计算机完成，因此测量方便迅 发散角为极小的气体激光器、固定激光器，也适用于 速、计算结果精确。 发散角极大的半导体激光器(IX))。这种测量方法 C嘴l『嗽0lII刚T 的优点是测试方法简单、成本低，缺点是速度慢、精 度低，尤其对半导体激光器需要对长短轴两个方向 囤口 扫描，只能根据半导体激光器管芯腔面位置大致确 定长短轴方向。不能满足生产和科研要求，成为制 图1测试系统硬件组成 约生产效率的瓶颈。至于双折射法测量法和聚焦测 光衰减器(filter)：由于被探测的激光强度通常 量法，仅仅适应于小发散角的测量。已有文献提出 高出图像探测器接收灵敏度若干个量级，因此必须 的CCD探测法，也大都是针对小发散角的直接测量 将被测激光强度衰减到探测器的线性工作区内。考 法，即激光器发出光经衰减器衰减后直接照到CCD 虑到普遍实用性，衰减器由两组旋臂式衰减片组串 光敏面上，从而得到光强分布的二维图像[8]8。 联组成。每组4片衰减片，其透过率各不相同，利用 本文提出采用面阵CCD间接测量法对LD发散旋臂，可方便地组合衰减倍率以细调进入探测器的 角测量，克服了直接测量法因为发散角大不能测量 光功率和能量。 的缺陷。不仅可以得到光强分布的二维分布图像， 屏幕(scroen)：为单面粗毛玻璃。 还可以由计算机对图像进行分析处理，绘出长轴和 短轴分布曲线，计算出激光器的远场发散角。因而， —1100nm范围内，这一波段的图像探测器可选用通 可以精确地得到光强的空间分布。 度测量精度有影响，其信噪比必须大于48db；为了 1 测试系统硬件构成 保证空间分布的测量精度，应选用逐行扫描黑白 系统组成如图1所示：硬件部分由光衰减器 (filter)、屏幕(screen)、CCD(camera)、图像采集卡 围为350nm。1100nm。 (grabber)等组成，方框圈起的部分置于光学暗箱中。 ①男，1968年生，硕士生，工程