基于PVDF的亚μN微力传感器的研究.pdfVIP

第29卷第4期增刊 仪 器 仪 表 学 报 V01．29No．4 兰塑!笙兰旦 堡垒i坠皇堕!旦婴垒!Q!墅i旦坐堕!!查业堡皇坐 生垦兰塑! ill7 基于PVDF 微力传感器的研究幸 刘意杨1’2 王越超1 于鹏1 席宁1 董再励1 (1中国科学院沈阳自动化研究所机器入学国家重点实验室沈阳110016； 2中国科学院研究生院北京 100049) 搐要本文设计了一种新颖的微力感知传感器及其标定方法，以获得亚pN(microNewton)的可靠的、高精度力反馈信息。 可靠的、高精度的微力感知和控制在提高微装配的效率上具有重要的作用。目前微装配中还没有可靠的亚IIN分辨率的传感 器。本文以PVDF(polyvinylidene 相应的信号处理电路，并对PvDF传感器的上述模型进行了标定。实验结果表明本文开发的PVDF传感器具有亚”N的分辨率， 同时验证了本文建立的PVDF传感器模型的正确性，并证明了信号处理电路以及标定方法是有效的。本文设计的微力传感器 为微装配和微操作中微接触力的反馈控制提供了可靠的解决方法，并将促进微装配和微操作的自动化加工技术水平，实现微 型装备的可靠、高产量的批量制造。 关键词 微力感知 传感器PVDF微装配 Researchon Micro-forceSensorBasedonPVDF Sub—pN 1,2 1 1 1 1 Liu YuechaoYu Xi Zaili YiyangWang Peng NingDong State Institute Chinese 110016China (1 KeyLaboratoryofRobotics,ShenyangofAutoraationAcademyofSciences Shenyang 2 GraduateSchoolChinese 100049 ofthe AcademyofSae,燃sBeijins China) AbstractAnovelmicro-forcesensorthatcan measureforceinthe of reliably range anditscalibrationmethodare inthis micro-forceand andsensitive designed paper．Reliable sensing controlmethodis to the of corresponding quiteimportantimproveefficiencymicroassembly．At micro-forcein iSnotabletobe measuredthe forcesensors．Inthis microassembly reliably by existing paper,the tofabricate modelof used a sensitive