基于序列图像的投影匹配微纳位移检测方法研究.pdfVIP

基于序列图像的投影匹配微纳位移检测方法研究 詹志坤1，2董再励1李文荣1，3刘柱1 1中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室，沈阳 110016 2中国科学院研究生院，北京 100039 3香港中文大学微纳米系统中心，香港 摘要：微纳米驱动精度和运动学特性对微纳米操作及加工装配等操作控制具有重要意义。本文针对微纳 米驱动系统的运动状态检测问题，研究了基于序列图像的环境位移视觉检测方法。通过分析标准光栅的显 微图像序列特点，提出了一种基于图像灰度分布特征的投影匹配方法。该方法对色彩纹理单一的微观图像 序列进行处理，实现了微纳米操作系统平台的微位移检测，并给出了实验研究和算法效率分析。从实验结 果可以看出，投影匹配法检测均方差为0．13微米，可以满足微纳操作精度要求，算法复杂度为图像一维尺 寸的平方阶函数，运行时间不超过50毫秒，为实时建立微位移与微驱动信号间的关系模型、系统漂移模型， 以及分析微纳米操作系统的运动学特性等提供了可行技术途径。 关键字：微纳米位移检测、投影匹配、序列图像 MethodtoDetectMicro Projection-Matching Basedon DisplacementImageSequence 1 ZhanZhikunl’2Zailil，Li Zhu Dong Wenrong．1～，Liu of 1Robotics Institute of Automation，ChineseSciences， Laboratory,Shenyang Academy 10016，China Shenyang，1 2CentreforMicroandNano Chinese of Systems，TheUniversityHongKong，HongKong， 100039，China 3Graduate of of Chinese University AcademySciences，Beijing，China amethodbasedonthe tomeasuremicro Abstract：砌妇papergives image sequenceinformation displacements theMicro-Nanoactuator thecharactersthenormal of system．After of analyzing gratingmicroscopicalimage method on distributionis tomeasurethe intensity sequence，acalled“Projection—Matching”bas