基于微悬臂梁的压电振动能量采集器的分析与制造.pdfVIP

基于微悬臂梁的压电振动能量采集器的分析与制造 孙健1，李以贵1，杨春生1，刘景全1，何丹农2 (1．上海交通大学微纳科学技术研究院，薄膜与微细加工技术教育部重点实验室，微米／ 纳米加工技术国家级重点实验室 2．纳米技术及应用国家工程研究中心) 摘要：随着低功耗无线传感器件和微机械电子系统的发展，电池技术的微型化正成为它们进 入实用化、产业化的一大障碍。其中一个解决方案是微压电振动能量采集器。首先给出压电 式振动能量采集器的工作原理、物理模型和设汁原则。用有限元分析软件对理论进行验证， 两者吻合较好。采用一种新颖的制造工艺，利用环氧树脂做为中间粘结层的键合工艺将高性 基于微悬臂梁的压电振动能量采集器。 关键词：环氧树脂；键合；刻蚀；悬臂梁 0引言 传感器网络、嵌入式系统、无线通讯、射频识别等技术近年来发展迅速【11。在基于这些 技术的网络或系统中，微型传感器等无线设备有着广泛的应用，如何解决它们的供电问题是 研究人员在实际中遇到的一个难点。网络中的电子元件一般数量庞大、位置分散、体积微小， 因此要求其供电部分具有体积小、集成度高、寿命长甚至无需更换、无人看管等特点。为此， 研究人员引入了“能量采集”(Energy Harvesting)这一概念。S．Roundy小组的研究表明【2】， 牛活的环境之中存在这各种频率的振动。如果人们能将周围环境中普遍存在的振动能收 集并转化为电能，这将大大的延长手持设备和传感器的工作时间，省去了更换电池带 来的不便和支出。由于以上原因，世界各地广泛开展着能量采集器方面的研究。目前， 各地研究者提出的微型能量采集器的类型主要有三种：压电式、静电式以及电磁式。 其中，采用压电式能量转换的器件结构简单、无需启动电源、输出功率密度高，并且压电薄 膜材料的迅速发展有利于器件的加工。因此，压电转换方式在要求器件微型化、集成化、自 供能的情况下有着得天独厚的优势，吸引了国内外研究人员纷纷展开相关研究。 美国San A＆M大学联合于2007年给出了应用于胎压传感器的 Diego州立大学和Texas 压电能量采集器原型【31，在100Hz的一阶固有频率激励下，输出电压峰峰值达7v。2008年， 韩国电力研究协会的Soon-JongJeong研究小组制作了基于双层PMNZT压电片的微能量采 院制作的压电振动能量采集器【5J的一阶固有频率为461．15Hz，输出电压为0．16v。 1基本原理 压电材料具有压电效应，当其受到外力作用而发生变形时，导致内部偶极子不对称，出 现极化现象，同时在材料表面出现正负相反的电荷，这种现象称为正压电效应。反之，如果 在压电材料的极化方向施加电场，会导致材料伸缩变形，称为逆压电效应。悬臂梁式压电能 量采集器的摹本工作原理正是基于压电材料的正压电效应。 二十世纪九十年代，WillJams和Yates提出用弹簧一质量块阻尼振动系统来模拟电磁能 量采集器的工作机制哺1，同时，这一模拟系统并不局限于某种能量转化方式(电磁式，压电式 和静电式)，故其可以很好的模拟压电材料将机械能转化为电能的问题。由上述振动系统的 分析可知，只有尽量减小系统的复合阻尼比，并使激励力的频率与系统的固有频率相等时， 系统才能获得最大的振幅。 201 另一方面，由压电悬臂梁的开路电压公式： y墨％1·t-g毫重 (1) 式(1)中，锄I为压电材料所受的应力，t为压电材料的厚度，暑ll为压电材料的压电电 压常数。 由应力应变关系可知，口=叠-嚣，E为压电材料的杨氏模量，开路电压与压电材料的应 变成正比。因此，由式和式可得，只有当外界振动频率与系统固有频率相等时，悬臂梁式压 电振动能量采集器的电压输出最大。 由于外界振动频率是不能人为改变的，且常见的振动源频率小于数千赫兹，为了使悬臂 梁式压电振动能量采集器的固有频率与外界振动频率相匹配，应设法减小其固有频率。 根据振动力学原理，悬臂梁的固有频率可用下式表示： ㈤ 譬昌蠢0蒜0,2勉噌 §死啪产 其中，Ep为压电材料的杨氏模量，I为悬臂梁的转动惯量，m为悬臂梁的质量，a为悬 臂