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基于柔性铰链的热驱动微夹钳的实验和仿真分析.pdf

第19卷第5期 传感技术学报 V01.19No.5 AND 2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSACTUATORS Oct.2006 andSimulationof withFlexure ExperimentalAnalysis Microgripper Hinge WANGXu,SHEN Xue-jin。,ZHANG Yong—yu andMachine 200072,China) (Dep.OfMechanicalofShanghaiUniversity,Shanghai Abstract:The is contactwiththe inMicroElectro—Me— Micromanipulator,whichdirectly appliedobject chanieal have and andbe to System,shouldhighsettingaccuracy,highstabilityhighresponsespeed easy contr01.Theflexureis usedinthe duetoits natures.Thisis hingewidely micromanipulatorspecial paper a kindof withflexure mechanicalbehavioris studying electrothermal—actuatingmicrogripper hinge.The studiedthe of andFE resultindicatesthatthedeflectionofthemi— by way Analysis.The doingexperiment is withthe of thedifferentcharactersofthe voltage.And crogripperapproximatelyproportionalchange with offlexurearesimulated different ANSYS. microgripper configurationhinge using Keywords:micromanipulator;flexurehinge;electrothermalactuatingmicrogripper EEAOC:7230;7320G 基于柔性铰链的热驱动微夹钳的实验和仿真分析 王 旭,沈雪瑾。,张永宇 (上海大学机械自动化系,上海200072) 摘 要:微执行器在整个微机电系统中直接面对其应用对象,需要满足定位精度高,稳定性好,响应速度快,控制方便的要 求.柔性铰链以其特殊的性能广泛应用于操作执行器的设计应用中.以一种基于柔性铰链的电热驱动微夹钳为研究对象,

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