FTM-V膜厚监控仪技术使用说明书-长春市星达电子仪器厂.doc

FTM-106膜厚监控仪THICKNESS MONITORS USER’S MANUAL Ver 1.0 二〇一二年十一月八日前　　言 感谢您购置本公司生产的FTM－106型膜厚监控仪。本用户手册包含仪器品功能和操作过程等，为了确保正确使用仪器，在操作仪器前请仔细阅读手册。请妥善保存手册，以便碰到问题时快速查阅。 注意： 手册内容有可能改变，恕不另行通知。 我们已经尽最大努力准备本手册以确保其准确性，然而，如您有疑问或发现错误，请直接与本公司或本公司的授权代理商联系。 没有本公司书面许可，任何抄袭或改编本手册全部或部分内容均视为严重侵权。 对于手册内容如有不同理解，以本公司技术部门解释为准。 开箱检查 用户第一次打开仪器包装箱时，请对照装箱清单检查仪器和配件，若发现仪器或配件错误、配件不齐或是不正常，请与销售商或生产商联系。 检查主机型号与您订购的是否一致，仪器后面板的铭牌上标有仪器的型号及编号。 装箱清单： 序号 名称 数量 1 FTM-106膜厚监控仪 2 电源线 3 晶体振荡器 4 同轴电缆线 5 探头 6 镀金6MHZ晶片 7 使用说明书 本膜厚监控仪适用于真空蒸发、高频溅射、直流溅射、离子镀等镀膜，通过液晶显示的沉积数据，包括速率、厚度和晶体振荡频率连续获取完整。目录 第1章 基本工作原理 1 第2章 技术指标 2 2.1 监控仪指标 2 2.1.1 测量 2 2.1.2 显示 2 2.1.3 Communication 通讯 2 2.1.4 Material Parameters 材料参数 2 2.1.5 Other其它 2 2.1.6 Overall Dimensions外部尺寸 3 2.1.7 常规技术指标 3 2.1.8 探头技术指标 3 2.2 带档板探头技术指标 4 第3章 监控仪的面板 5 3.1 前面板 5 3.1.1 前面板说明 5 3.2 后面板 6 3.2.1 电源 6 3.2.2 探头座 6 3.2.3 RS-232和RS-485接口 6 3.2.4 输出接头 6 第4章 使用操作 8 4.1 操作前的准备 8 4.2 设置镀膜层参数 8 4.2.1 进入镀膜层参数设置界面 8 4.2.2 选择要修改的项目 9 4.2.3 选择镀膜层 9 4.2.4 选择镀膜材料 9 4.2.5 设置终厚 10 4.2.6 修改“工具因子” 10 4.2.7 选择输入探头 10 4.2.8 修改材料的“密度”和“Z因子”值 10 4.2.9 返回初始界面 10 4.3 设置“巡回次数”、“挡板时间”、“本机地址” 10 4.3.1 设置“巡回次数” 11 4.3.2 设置“挡板时间” 11 4.3.3 设置“本机地址” 12 4.4 镀膜工作 12 4.4.1 启动镀膜工作 12 4.4.2 停止镀膜工作 13 4.4.3 探头失效 14 第5章 安装与连接 16 5.1 仪器安装 16 5.2 仪器-晶体振荡器-探头的连接 16 5.2.1 晶体振荡器外型参见图3.1 16 5.2.2 连接方法参见图5.2。 16 5.3 输出接头连接 17 5.3.1 如果您探头附有档板，连接方法参见图5.3 17 5.3.2 输出接头2连接 17 5.4 RS232 连接 18 5.5 RS485 连接 18 5.6 接地线连接 18 5.7 探头安装前准备 18 5.7.1 探头主体 18 5.7.2 探头结构 19 5.7.3 预安装探头校验 20 5.7.4 停振或不振原因 排除方法 20 5.8 探头安装 20 5.8.1 典型安装 20 5.8.2 溅射系统安装 21 第6章 校正 22 6.1 材料密度校正 22 6.2 工具因子的确定 22 6.3 材料Z因子的校正 22 6.4 几点说明 23 第7章 维护与修理 24 7.1 探头故障、原因、修理 24 7.2 仪器的保养 25 第8章 计算机连接 26 8.1 连接方法 26 8.1.1 RS232 连接 26 8.1.2 RS485 连接 26 8.2 软件安装 26 8.3 软件执行程序 26 附表一：材料参数表 27 附录一：通信协议 33 基本工作原理 FTM-106膜厚监控仪由主机、探头、晶体振荡器三部分组成。 主机核心是单片微机，监控仪在CPU控制下，实现对数据采集、计算、显示等操作。探头内安装一片6MHz测厚晶片，它通过同轴电缆与晶体振荡器的输入端相连，与振荡器的前级构成一个完整输入回路并产生6MHz振荡频率,该振荡讯号经放大后，再通过同轴电缆与主机的探头座相连。在镀膜过程中，晶片表面就不断获得介质或金属沉积材料，使得晶片表面逐渐变厚，导致振荡频率渐渐下降。主机通过传输过来的不