01料厂精馏车间精馏岗位作业指导书2013.5.13试卷.docVIP

目 次 目 次 I 前 言 II 硅料厂精馏车间岗位作业指导书 3 1 范围 3 2 规范性引用文件 3 3 术语和定义 3 4 质量标准、生产规模、原辅料及能源消耗 3 5 工艺原理 5 6 主要参数控制 10 7 过程控制(含设备操作) 11 7.2.6 罐区 19 7.2.6.1精TCS贮罐90-TK117A/B/C的开车 19 7.2.6.2精TCS/DCS贮罐90-TK123的开车 20 7.2.7 尾气废液回收系统 21 8事故处理 35 9主要设备规格、原理及操作 38 附 录 A 47 附 录 B 49 附 录 C 51 附 录 D 56 附 录 E 57 附 录 F 60 前 言 本负责起草部门：。 主要起草人：李仕勇、赵生艳。 由昆明冶研新材料股份有限公司审核。 由昆明冶研新材料股份有限公司批准。 为第一次起草编制，有不完善的内容将在今后陆续制定、修订。 由昆明冶研新材料股份有限公司负责解释。 本适用于昆明冶研新材料股份有限公司TCS精馏工序的工艺技术管理、操作及运行维护。TCS精馏工序主要包含合成TCS的精馏及尾气回收氯硅烷的提纯。LXE三氯氢硅工厂操作指导手册 单位 电子级 三氯氢硅 ％W ≥99 硼 ppbw ≤200 磷 ppbw ≤50 金属 ppmw ≤5 碳 ppmw ≤140 产品质量标准 4.2.1高纯TCS产品质量 项目 单位 太阳能级 三氯氢硅 ％W ≥99.5％ 二氯二氢硅 ％W ≤0.1％ 四氯化硅 ％W ≤0.2％ 氯化氢 %W ≤0.02% 磷/砷、锑 ppbw ＜1.5 硼/铝 ppbw ＜1.5 钙 ppbw ＜5 铁 ppbw ＜10 4.2.2高纯STC产品质量 项目 单位 指标 三氯氢硅 % ≤0.15 生产规模(包含月、年产量) 精馏车间生产规模 序号 物料 处理量（kg/h） 处理量（吨/月） 处理量（吨/年） 1 合成TCS（FI01301） 3037.35 2186.892 21868.92 2 合成精TCS（FI01713） 2358 1697.8 16977.6 3 合成+氢化TCS（FI02301） 9954 7166.88 71668.8 4 还原氯硅烷分离 28748 20698.56 206985.6 5 氢化氯硅烷分离 39686 28573.92 285739.2 备注：单位中每月按30天计，每年按300天（约80%在线时间）计。 原辅料及能源消耗（包含月、年原料消耗） 原辅料 规格型号 消耗量（kg/h） 消耗量（吨/月） 消耗量（吨/年） 备注 合成车间粗TCS TCS86.35% 3037.35 2186.892 21868.92 粗TCS主要包括合成TCS和尾气C返回的氯硅烷　 外购TCS TCS99.00% -- -- -- 补充合成车间供应不足的TCS用量 还原循环氯硅烷 -- 28748 20698.56 206985.6 -- 氢化循环氯硅烷 -- 39686 28573.92 285739.2 -- 氮气 0.7MPa、常温、氧含量≤1ppmV（最大） -- -- -- 来自制氮站，用于罐顶密封等 16.5MPa -- -- -- 来自外购氮气钢瓶，用于10-TK104罐顶密封 0.3MPa、常温、氧含量≤1ppmV（最大） -- -- -- 来自制氮站，用于设备管道置换 仪表用空气 0.5-0.7MPa、常温、露点≤-40℃、粉尘≤1μm -- -- -- -- 低温热油 Mobile 605（美孚导热油），180℃、0.57MPa 1693802 1219537.444 低温热油系统循环使用　 高温热油 Sytherm 800（美孚导热油），250℃、0.57 MPa 44336.18 31922.0496 319220.496 高温热油系统循环使用　 冷油 Dowtherm J（美国陶氏化学），-25℃、0.57 MPa 865351.6 623053.152 6230531.52 冷油系统循环使用　 电耗量(单位) 380V 860.45（kw.h） 619524（kw.h） 6195240（kw.h） 　主要用电设备是泵和空冷器电机等 循环冷却水（单位） 0.45MPa、28℃ 2.34（m3/h） 1684.8 （m3/月） 16848 （m3/年） 循环使用（10-P114C/115C/108A/B 泵暂无数据未统计） 7℃水 7℃ -- -- -- 用于取样柜，物料冷却，循环使用 注：计算中每月按30天计，每年按30