射频放电激励板条CO激光器的脉冲工作特性.pdf

射频放电激励板条C0激光器的脉冲工作特性 王新兵 (华中科技大学激光技术与工程研究院湖北省 武汉430074) 摘要：实验研究了射频放电激励板务cO激光器的脉冲工作特性。激光器采用81MHz的射频放 1．7mm．采用负支共焦谐振腔，输出耦合系数为8％。激光器在室温下工作。给出了激光器的输出功 率和脉冲宽度，电源功率的关系，以及不同脉冲情况下脉冲的时间特性．获得了峰值功率约为600W 的激光输出． 关键词：射频放电；扩散冷却；板条；C0激光器 1．引言 C0激光器在中红外区的激光光谱及许多方面的应用中成为必不可少的相干光源。大功率CO激 光器作为新一代工业用激光器，具有转换效率高、输出功率大、光束质量好、易于传输等优点，正 日益受到人们的重视”“1。但c0激光器要达到最终工业实用化程度，还有许多问题亟待解决，其中 一个主要问题就是如何才能实现激光器的长期稳定运转，在过去的几十年中．大功率一氧化碳激光 器技术一直吸引着一些研究者。近十年来．随着射频激励扩散型冷却板条气体激光器这一项新的技 术的出现和应用．使得紧凑型大功率一氧化碳激光器的实现成为可能。射频激励扩散型冷却板条气 体激光器技术将射频气体大面积放电激励、扩散型冷却和离轴共焦非稳腔”1三项技术结合起来为实 现大功率气体激光器开辟了一条新的技术途径，其在C0s激光器”’、xe原子激光器”1和c0激光器… 中均得到了一定应用。CO激光器在加工那些在中红外区域吸收较大的材料如有机物等上具有潜在的 应用。另外对于玻璃来讲，其吸收也大于10#m处的吸收。文献上报道了多种CO激光器p一，但这 些都是采用液氮冷却，其中包括快速流动射频激励技术或电子束激励，这些激光器都是连续工作的， 但在激光的很多应用中都要求激光器能够脉冲工作，最好是激光器能够在室温下封离工作。本文报 道了室温下射频放电激励C0激光器的脉冲工作特性。 2．实验装置 m。上 实验中的激光器结构如图l所示。激光器电极面积为86mmxT00mm，电极间距为l-7 F电极间用陶瓷块隔离，无侧壁。气体放电激励的射频电源频率为81协tZ，其输出通过50Q传输线， 经过一^形匹配网络和电极连接，以实现阻抗匹配。为了获得板条波导的纵向均匀气体放电，还利用 了纵向周期分布电感匹配技术…。电极材料为铝，上下两个铝电极均采用了自来水冷却．即激光器在 室温F工作。和文献报道的扳条激光器的谐振腔不同，本文所报道的激光器采用负支共焦非稳谐振 腔。同传统的正支非稳谐振腔相比【4”，其失调灵敏度低，但对于增益介质的利用要差一些．谐振腔 的输出耦合系数为8％。值得一提的是谐振腔的前后反射镜和输出窗口由于已经使用了很跃时间．肉 眼可以观察到激光镜面的损伤，这样整个谐振腔的损失是比较大的．这也是造成激光器效率低的原 因。整个光学谐振腔和电极部分放置在一个铝真空腔内。实验中，采用的混合气体成分为c0、He、 140Torr(18．7kPa)。 为了测撬激光器的输出特性，采用如图2所示的测试系统。激光器的输出通过一5％的分束器后。 激光器的脉冲的时间波形利用一热释电探测器探测，利用功率计记录激光器的平均功率．功率计的 输出以及热释电探测器的输出与电脑相连，直接进行数据采集，在电脑上显示脉冲波形、平均功率、 峰值功率以及脉冲能量的参数。 图1实验用射频c0激光器示意图 图2CO激光器输出特性测量系统 3．实验结果 在图3和图4的实验中，射频脉冲的峰值功率都为9kW。图3为激光器的平均输出功率和平均 注入功率的关系，可以看到频率高时激光的输出功率较高。最大平均功率为70W，此时对应的激光 电光转换效率约为1．8％。效率比较低的原因是由于_}}j的是反射率低的旧腔镜。另外使用自来水冷却 也是效率低的原因。由于射频激光器的输出功率是通过脉冲宽度调制来控制的，图4激光平均输出 功率和脉冲持续时间的关系。实际上也反映了激光输出功率和脉冲占宽比的关系。激光器在高频率 工作时，脉冲的宽度受到限制。 ；i §嚣