工业化生产单晶硅碱腐蚀制绒总碱度恒定控制模型.pdfVIP

·592·中国太阳能光伏进展 工业化生产单晶硅碱腐蚀制绒总碱度 恒定控制模型 、● ● 陈庭金2 姚朝晖1，2廖华2刘祖明2李景天2马逊2 1中国农业大学水利与土木工程学院北京100083 2云南师范大学太阳能研究所昆明‘650092 【摘 要】’ 制绒工艺是太阳电池生产的关键工序，’能很好地减少入射光反射。本文从理论 上分析了制绒工艺的化学过程，计算了制绒液总碱度恒定控制的模型，给出了 · NaOH实际补正后浓度与溶液中Na2Si03积累浓度的关系式。 【关键词】 太阳电池单晶硅表面织构工艺稳定性． CalculationforConstantAlkalinecontentin SiliconMass Monocrystalline ProductionSolution Etching ： YaoZhaohuil·2LiaoHua2Liu LiJintian2MaXun2Chen Zumin92 Tinjin92 1CollegeofHydraulic 100083，China；． Solar Research Normal ．2 Energy Institute，YunnanUniversity，Kunming650092，China 0引‘言 表面织构技术是工业化单晶硅太阳电池生产的关键工序之一，多利用NaOH碱性腐蚀液及 单晶硅的各向异性腐蚀特点，在单晶硅表面上形成随机分布的形似金字塔的密集的角锥，能使垂 直入射太阳光二次以上吸收的机会，对不同波长的光均有较好的减反射作用。表面织构技术和减 反射涂层技术共同作用，可以使太阳光的反射率控制在近3％的水平【l】，从而大大增加少数光生 载流子的产量，提高电池的短路电流和效率。研究表明【21，经过表面织构(绒面)的电池的表面 积是未做绒面的电池表面积的1．8倍，再覆盖减反射涂层后，其短路电流有30％的增益。‘ 现在工业化单晶硅太阳电池的表面织构多采用湿式碱腐蚀技术，工艺相对简单，即硅片 min～60 2．5％)溶液在700c～800c时进行约30min的各向异性腐蚀。由于单晶硅的晶胞是 金刚石结构，硅原子在不同的品向和晶面上的键能不一样，故与碱反应时活性不一样，表现 为在不同的晶向和晶面上有不同的腐蚀速率，(111)面上的原子的间距小，面密度大，分布 均匀，键能大，反应速率最小，所以角锥突出的面为(111)面。湿式碱腐蚀的反应动力学仍 在研究之中，有研究者认为【31，制绒液中碱的浓度、制绒温度及时间、乙醇含量是影响制绒 太阳电池组1：}-制造技术及装备．593． 质量的主要因素。工业化实际控制过程中，制绒温度和制绒时间易于精确掌握和控制，但体 系的总碱度却随着制绒过程的连续进行及硅酸钠的不断积累而发生变化，若按照NaOH的估 计消耗量对其进行补充，则体系的总碱度会逐渐升高，从而对工艺的精确控制带来负面影响。 本文对工业化生产单晶硅碱腐蚀制绒液总碱度的控制进行了理论分析和计算，对生产过程中 总碱度的稳定控制有一定的指导作用。