《铬靶材》讨论稿.doc-中国有色金属标准质量信息网.doc

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前 言 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。 本标准负责起草单位:株洲冶炼集团股份有限公司。 本标准主要起草人: 铬靶材 1范围 本标准规定了铬靶材的要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输与贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容等。 本标准适用于表面处理,光电子,功能薄膜等行业所需的金属铬靶材。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件,鼓励根据本标准达成协议的各方研究可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 5163-2006 烧结金属材料(不包括硬质合金) 可渗性烧结金属材料 密度、含油率和开孔率的测定 GB/T 8170-2008 数值修约规则与极限数值的表示和判定 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 3.1 表观密度 Density 每单位体积物质的质量。 3.2 相对密度 Relative Density 物质的密度与参照物的密度的比值。本标准中是物质表观密度与理论密度的比值。铬靶材理论密度以7.19g/cm3计算。 4 要求 4.1 产品分类 铬靶材按化学成分分为四个牌号: Cr99.995、Cr99.95、Cr99.5、 Cr99.0 4.2 化学成分 4.2.1 铬靶材的化学成分应符合表1的规定。 表1 铬靶材化学成分 牌号 化学成分(质量分数)不大于/% 金属杂质 非金属杂质 Cr不小于 Fe Si Al Cu Pb C S N H O Cr99.995 99.995 0.0005 0.0005 0.0005 0.0005 0.0005 0.005 0.002 0.01 0.0025 0.05 Cr99.95 99.95 0.01 0.01 0.005 0.003 0.001 0.01 0.002 0.01 0.005 0.05 Cr99.5 99.5 0.25 0.02 0.005 0.005 0.005 0.05 0.01 0.01 0.005 0.15 Cr99.0 99.0 0.30 0.05 0.01 0.01 0.01 0.05 0.03 0.05 0.010 0.55 需方如对铬靶材的化学成分有特殊要求时,由供需双方商定。 4.3 物理性能 相对密度:不同牌号的铬靶材密度均应≥99%;密度均匀性偏差≤±0.2%。 4.4 物理规格 铬靶材呈板状、圆柱状、管状或其它形状,规格尺寸及偏差由供需双方商定。 4.5 表观质量 4.5.1 铬靶材为银白色,颜色应均匀。 4.5.2 铬靶材表面应平整,无裂纹,无明显崩边,且无其他外来夹杂物和污染物。 5 试验方法 5.1 化学成分仲裁分析方法 铬靶材的化学成分仲裁分析方法由供需双方商定。 物理性能检验方法 铬靶材的物理性能的测定按GB/T 5163-2006的规定进行。 5.3 铬靶材的物理规格用卡尺测量。 5.4 铬靶材的表观质量用目视法检验。 6 检验规则 6.1 检查和验收 6.1.1 铬靶材应由供方技术监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准或订货单(合同)的规定,并填写质量证明书(合格证)。 6.1.2 需方可对收到的产品按本标准的规定进行检验。如检验结果与本标准或订货单(合同)的规定不符时,应在收到产品之日起30天内向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,仲裁取样在需方由供需双方共同进行。 组批 铬靶材应成批提交检验,每批应由同一炉次或同一靶坯切割下来的产品组成。批重不予规定。 6.3 检验项目 每批铬靶材应进行化学成分、物理性能、物理规格、表观质量的检验。 6.4 仲裁取样和制样 6.4.1 化学分析仲裁样的采取和制备 铬靶材化学分析仲裁样的采取和制备方法由供需双方商定。 6.4.2 物理性能检验仲裁样的采取 从产品中按片(件)随机抽取10%样品,但不少于1片(件),根据靶材形状取合适大小,用超声波清洗器清洗干净后进行物理性能的测定。 检验结果的判定 6.5.1 铬靶材检验结果的数值修约与极限数值的表示和判定按GB/T 8170中的规定进行。 6.5.2 铬靶材的化学成分、物理性能的检验结果与本标准4.2、4.3的规定不符时,按批判不合格。 铬靶材的物理规格、表观质量与本标准4.4、4.5的规定不符时,按片(件)判不合格。 7 包装、标志、运输与贮存 7.1 包装 铬靶材之间应用软物隔离开,

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