4.5压电式传感器摘要.ppt

1、电压放大器 由于等效电路中Ra、 Ri再大，也会漏电，因此压电式传感电路只能准确测量随时间变化的力。设该力为： 则元件上产生的电压值为： 等效电阻 和等效电容 为： + Ca Ra Ri Ci Cc USC Ua - R2 R1 + Ca R C USC Ua - R2 R1 放大器输入端的电压为（复数形式）： 放大器输入端的电压的幅值为： + Ca R C USC Ua - R2 R1 Ui 输入电压与作用力之间的相位差为： 在理想情况下，压电传感器的绝缘电阻Ra和前置放大器的输入电阻Ri均为无穷大，此时 也趋于无穷大 由于输出电压与 有关，其中电缆电容 的变化对整个测量系统影响很大，整个测量系统对 的变化非常敏感。 连线电缆的长度和形态发生变化，都将导致传感器输出电压的变化，使传感器的灵敏度也发生变化，这是使用电压放大器的最大缺点。 解决办法：采用短的电缆及驱动电缆。 此时放大器的输出电压与频率无关，因此传感器有相当好的高频响应特性。 * * 4.5 压电式传感器 基于某些材料的压电效应，通过材料受力作用变形时，其表面会有电荷产生而实现非电量测量---(有源传感器) 传感元件具有 压电效应 被测信息 敏感元件 转换元件 信号调理电路 输出信息 压电元件 压电元件 压电传感元件是力敏感元件，所以它能测量最终能变换为力的物理量，如：力、压力、加速度、机械冲击和振动等。 压电传感器具有响应频带宽、灵敏度高、信噪比大、结构简单、工作可靠、质量轻等优点。 随着与之配套的二次仪表以及低噪声、小电容、高绝缘电阻电缆的出现，使压电传感器在各种动态力、机械冲击、振动测量、生物医学、超声等许多技术领域得到广泛的应用。 学习内容 工作原理 压电材料 等效电路 测量电路 应用 压电式传感器 §1 压电效应 正压电效应（顺压电效应）：某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的一定表面上产生电荷，当外力去掉后，又重新恢复不带电状态的现象。当作用力方向改变时，电荷极性也随着改变。 逆压电效应（电致伸缩效应）：当在电介质的极化方向施加电场，这些电介质就在一定方向上产生机械变形或机械压力，当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失的现象。 电能 机械能 正压电效应 逆压电效应 一般将具有压电效应的电介质称为压电材料。 具有压电效应的物质很多，如天然石英晶体，人工制造的压电陶瓷等。 压电材料常见参数： （1）压电常数：衡量材料压电效应强弱的参数，与压电输出灵敏度有关； （2）弹性常数：压电材料的弹性常数、刚度决定着压电元件的固有频率和动态特性； （3）介电常数：对于一定的形状、尺寸的压电元件，其固有电容与介电常数有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 （4）机械耦合系数：在压电效应中，转换输出能量与输入能量之比的平方根，是衡量压电材料机-电能力转换效率的一个重要参数； （5）电阻：压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器低频特性； （6）居里温度：是指压电材料丧失压电特性的温度。 石英晶体是应用最广的压电晶体，有天然石英和人造石英。天然石英性能较人造石英更稳定，其介电常数和压电常数的稳定性好（在几百度范围内不变），机械强度高，绝缘性好，重复性好，线性范围宽。 Z X Y (a)理想石英晶体的外形 (b)坐标系 Z Y X 光轴（无压电效应） 电轴（纵向） 机械轴（横向） 正压电效应最明显 逆压电效应最明显 石英晶体在温度低于573oC时，为 -石英，属六角晶系；高于573oC时，为 -石英，属三角晶系。实验证明， -石英的压电效应很明显， -石英的压电效应可忽略。 -石英外形为六角形晶柱，两端是六棱锥形状，用三个互相垂直的轴来表示。 压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 石英晶体的压电效应 石英晶体是如何产生压电效应的？ 这主要与其内部结构有关。 石英晶体的分子式是 ，每个晶体单元含有三个硅离子和六个氧离子。将它们在Z平面投影，并等效为正六边形排列。 (b) (a) X Y 硅氧离子的排列示意图 (a) 硅氧离子在Z平面上的投影 （b）等效为正六边形排列的投影 + + - - - Y X + 如图，A、B两个平面是在垂直X轴方向两个平面上用真空镀膜法或沉银法得到的电镀面。 + + - - - Y X + A B + + - - - Y X + A B Fx Fx ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ － － － － － － + + - - - Y X + A B ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ － － － － － － － Fx Fx + + + + － －