挥发物沉积对蓝宝石晶体生长影响的数值模拟及实验研究.pdfVIP

第 13卷 第7期 2013年3月 科 学 技 术 与 工 程 Vo1．13 No．7 MaF．2013 1671—1815f2013)07-1923—05 ScienceTechnologyandEngineering ⑥ 2013 Sci．Tech．Engrg． 晶体学 挥发物沉积对蓝宝石晶体生长影响的 数值模拟及实验研究 于海群 徐永亮 施海斌 廖永建 陈建明 (浙江昀丰新能源科技有限公司 ，金华 321037；上海昀丰光电技术有限公司 ，上海 201201) 摘 要 采用泡生法生长蓝宝石晶体的过程 中，不可避免地存在挥发物沉积。通过不同炉次的实验研究，并结合FLUENT的 三维数值模拟结果，分别分析 了上保温钼屏、锅盖及加热器表面的挥发物沉积对晶体生长的影响。为减少挥发物的形成，采 用更高纯度的A1O原料，及靠近高温区的钼屏采用钨屏代替的方式，以降低挥发物的形成。经过调整后生长出75kg的完整 晶体，挥发物沉积得到有效控制。 关键词 蓝宝石 挥发物沉积 数值模拟 实验研究 中图法分类号 0782．5；