類鑽石薄技術在模具上之應用Diamond-likecarbonfilmtechnologyin.pdfVIP

類鑽石薄膜技術在模具上之應用 Diamond-like carbon film technology in mold applications 王俊堯 Chun-Yao Wang 馗鼎奈米科技股份有限公司 總經理 General manager, Creating Nano-Technology Inc. 摘要: 2 3 類鑽石為混合有 sp 及 sp 鍵結的非結晶性材料，它具有與鑽石相似的性質，如硬度高、 摩擦係數低、抗腐蝕及導熱性佳等。與鑽石相比，它可以在較低溫甚至室溫下合成，而且具 有原子級的表面平滑度、非常容易脫膜之低 表面能、非常低的摩擦係數和製造成本低等優點， 因此非常適合應用在各式模具在抗腐蝕、抗磨耗的保護層上，以提高模具的精密度及使用壽 命，是目前最優秀的模具保護層。 然而鑽石薄膜應用在模具上需克服壓縮應力大、附著力差及高溫熱穩定性等難題，方能 使其發揮優異的效能。藉由中間鍍層的設計得以將應力分散並提高薄膜的附著力，成功的將 類鑽石薄膜被覆在鋼、銅、鋁合金等模具上。 另外，添加金屬或非金屬元素如 Ti 、Nb 、Ta 、Cr 、Mo 、W 、Ru 、Fe 、Co 、Ni 、 Al 、Cu 、Au 、Ag 、N 、F 等可以降低類鑽石膜的內應力、提高類鑽石膜的耐溫性、改善膜的 光學性質和導電度等。 類鑽石薄膜具有耐磨耗、抗腐蝕、平滑度高、脫膜性佳等優越特性，使得其可以應用在 塑膞射出模具、銅、鎂、鋁合金沖壓模具、粉末治金模具、光學模具、精密模具、封裝模具、 模具滑動零件等。 本文將介紹類鑽石薄膜成長機制、應用瓶頸及解決方法，並以自行開發之電漿技術合成 出附著力佳、耐磨耗之類鑽石薄膜。並實際量測類鑽膜之各項性質及應用的情形，以提供業 者參考。 關鍵字﹕類鑽石薄膜、模具、磨耗、 表面被覆 Abstract: Diamond-like carbon (DLC) films consisting of sp2 and sp3 carbon are structurally amorphous. DLC films have extremely high hardness, low friction coefficients, corrosion-resistance and high thermal conductivity, similar to those of diamond films. On the other hand, DLC films have advantages over diamond films including low temperature depositions, e.g. at room temperature, atomic level smoothness, very low surface energy for easy mold release and low manufacture cost and large area growth. Therefore, DLC films are by far the best tribological coatings in improving the precision and lifetime of the molds as protection coating layers. However, DLC films suffer from the high compressive stress, low adhesion and thermal instability problems. By modifying the film structures with dopants like Ti, Nb, Ta, Cr, Mo etc.,