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巨磁电阻效应及应用 实验内容与操作 一、GMR模拟传感器的磁电转换特性测量 在将GMR构成传感器时，为了消除温度变化等环境因素对输出的影响，一般采用桥式结构，图10是某型号传感器的结构。 对于电桥结构，如果4个GMR电阻对磁场的响应完全同步，就不会有信号输出。图10中，将处在电桥对角位置的两个电阻R3、R4 覆盖一层高导磁率的材料如坡莫合金，以屏蔽外磁场对它们的影响，而R1、R2 阻值随外磁场改变。设无外磁场时4个GMR电阻的阻值均为R，R1、R2 在外磁场作用下电阻减小ΔR，简单分析表明，输出电压： UOUT = UINΔR/（2R-ΔR） （2） 屏蔽层同时设计为磁通聚集器，它的高导磁率将磁力线聚集在R1、R2电阻所在的空间,进一步提高了R1、R2 的磁灵敏度。 从图10的几何结构还可见，巨磁电阻被光刻成微米宽度迂回状的电阻条，以增大其电阻至kΩ数量级，使其在较小工作电流下得到合适的电压输出。 图11是某GMR模拟传感器的磁电转换特性曲线。图12是磁电转换特性的测量原理图。 图12 模拟传感器磁电转换特性实验原理图 实验装置：巨磁阻实验仪，基本特性组件。 将GMR模拟传感器置于螺线管磁场中，功能切换按钮切换为“传感器测量”。实验仪的4伏电压源接至基本特性组件“巨磁电阻供电”，恒流源接至“螺线管电流输入”，基本特性组件“模拟信号输出”接至实验仪电压表。 按表1数据，调节励磁电流，逐渐减小磁场强度，记录相应的输出电压于表格“减小磁场”列中。由于恒流源本身不能提供负向电流，当电流减至0后，交换恒流输出接线的极性，使电流反向。再次增大电流，此时流经螺线管的电流与磁感应强度的方向为负，从上到下记录相应的输出电压。 电流至－100mA后，逐渐减小负向电流，电流到0时同样需要交换恒流输出接线的极性。从下到上记录数据于“增大磁场”列中。 理论上讲，外磁场为零时，GMR传感器的输出应为零，但由于半导体工艺的限制，4个桥臂电阻值不一定完全相同，导致外磁场为零时输出不一定为零，在有的传感器中可以观察到这一现象。 表1 GMR模拟传感器磁电转换特性的测量 （电压取4V） 磁感应强度/高斯 输出电压/mV 励磁电流/mA 磁感应强度/高斯 减小磁场 增大磁场 100 256 256 90 256 255 80 256 254 70 254 250 60 242 731 50 212 195 40 170 150 30 128 110 20 90 74 10 54 41 5 36 24 0 20 9 －5 14 29 －10 34 46 －20 66 80 －30 101 119 －40 140 160 －50 183 200 －60 224 236 －70 246 252 －80 252 255 －90 255 256 －100 256 256 根据螺线管上标明的线圈密度，由公式（1）计算出螺线管内的磁感应强度B。以磁感应强度B作横座标，电压表的读数为纵座标作出磁电转换特性曲线。 不同外磁场强度时输出电压的变化反映了GMR传感器的磁电转换特性，同一外磁场强度下输出电压的差值反映了材料的磁滞特性。 二、GMR磁阻特性测量 为加深对巨磁电阻效应的理解，我们对构成GMR模拟传感器的磁阻进行测量。将基本特性组件的功能切换按钮切换为“巨磁阻测量”，此时被磁屏蔽的两个电桥电阻R3,R4被短路，而R1,R2并联。将电流表串连进电路中，测量不同磁场时回路中电流的大小，就可计算磁阻。测量原理如图13所示。 实验装置：巨磁阻实验仪，基本特性组件。 将GMR模拟传感器置于螺线管磁场中，功能切换按钮切换为“巨磁阻测量”，实验仪的4伏电压源串连电流表后接至基本特性组件“巨磁电阻供电”，恒流源接至“螺线管电流输入”。 按表2数据，调节励磁电流，逐渐减小磁场强度，记录相应的磁阻电流于表格“减小磁场”列中。由于恒流源本身不能提供负向电流，当电流减至0后，交换恒流输出接线的极性，使电流反向。再次增大电流，此时流经螺线管的电流与磁感应强度的方向为负，从上到下记录相应的输出电压。 电流至－100mA后，逐渐减小负向电流，电流到0时同样需要交换恒流输出接线的极性。从下到上记录数据于“增大磁场”列中。 表2 GMR磁阻特性的测量（磁阻两端电压取4V） 磁感应强度/高斯 磁阻/Ω 减小磁场 增大磁场 励磁电流/mA 磁感应强度/高斯 磁阻电流/mA 磁阻/Ω 磁阻电流/mA 磁阻/Ω 100 1.938 1.938 90 1.938 1.937 80 1.938 1.935 70 1.936 1.931 60