B31-22013AOI草稿光碟版陳俊仁.pdfVIP

數位影像式精密模具對位技術開發 陳俊仁 覺文郁 張君勵 國家實驗研究院 國立虎尾科技大學 國家實驗研究院 儀器科技研究中心 自動化工程系 儀器科技研究中心 feet@narlabs.org.tw jywe@sunws.nfu.tw hankchang@narlabs.org.tw 摘要 本文針對微鏡片製作的精密壓印系統開發出影像式精密對位技術，用於協助兩片模具以非接觸式 量測法自動對位。此對位技術採用高倍率光學鏡頭搭配 CCD 攝影機，針對十字刻痕的金屬模具及十 字標記的玻璃模具進行十字中心座標及角度辨識。由於高倍率顯微鏡工作距離極短，因此對於兩片模 具的對位採用離軸式對位法，透過干涉儀及其他量測系統輔助確保對位完後模具結合過程沒有誤差。 本文所採用的影像式對位法不使用任何機械對位元件進行對位，可以減少 關鍵字：精密模具自動對位、影像式對位法、離軸對位法、幾何形貌辨識 壹、前言 一般模具對位結合大多藉由機械元件緊密配合達到定位，如定位銷、定位珠及定位柱等元件。 但是，藉由機械元件接觸對位有其極限所在，對於需要對位精度優於 2 影像式對位系統早期多應用於半導體相關設備上[1-8] ，因為半導體設備建置成本較能負擔影 像對位系統系統成本，因此許多晶圓對位系統均採用影像對位方式。近年也有人將影像對位 系統應用於奈米平台的定位上[9-10] ，透過高倍率的顯微物鏡搭配影像處理，針對奈米定位平 台提供平台定位誤差量測。影像系統亦可應用於三次元量床[11] ，但由於影像式系統容易受表 面紋路材質及打光方式影響，所以一般三次元量床應用，大多以平面瑕疵檢測為主。少數商 用系統使影像方式檢測微 3D 結構，無法提供大型 3D 物體精確量測結果。此外，視覺對位系 統尚應用於 BGA 封裝[12] 、光纖對位[13]及 PCB 印刷對位[14]等應用。 本文所研究的對位應用係針對單片玻璃模具與單片金屬模具結合，傳統電容式探頭等非接觸 式探頭無法適用，機械元件定位亦不適用，唯有影像式對位系統方能達成。為達成兩片不同 材質模具對位，本文透過兩套影像系統去辨識兩塊模具各自位姿，再藉由高精度電控平台完 成對位。為達到高對位精度需求，本文採用高倍率光學鏡頭，但其工作距離較短，故對位系 統只能採用離軸式對位方式。為達成離軸式對位，對位系統所採用的電控平台使用雷射干涉 儀與光電角度量測系統輔助定位控制，但詳細離軸對位過程誤差補償方式不在本文中詳述。 貳、系統架構與作動原理 本文所開發之對位系統系統架構示意圖如圖 1 所示，圖中顯示針對上下兩塊模具，此對位系 統分別使用了四組取像系統，其中兩組針對上模具標記進行辨識，兩組針對下模具標記進行 辨識。由於對位的兩塊模具的材質不同，因此所取得標記影像亦不同。每組取像系統包含了 一組 10X 同軸鏡組、一組兩百萬畫素 GigE 相機、一組光纖式 LED 光源。此系統的上模具固 定在壓印系統支架上，只可透過手動微調器調整位姿，下模具則置放於一個三自由度電動平 台上。上下模具結合時，係先透過上模具對位系統確認上模具已在預設位置，接著透過下模 具對位系統量測下模具擺設誤差，然後藉由三 自由度電動平台將擺設誤差補正後，將下模具 移動到上模具下方，最後透過壓印系統 Z 軸推升功能，將上下模具貼合。上下模具貼合過程 中，壓印系統透過三組三角雷射即時監控上模具與下模具間隔與傾斜程度。由於 10X 鏡組工 作距離小於 50 mm ，上下模具無法對齊後再透過影像辨識對位結果，因此必須上下模具分別 進行對位，此對位方式稱為離軸式對位。為確保離軸式對位的精度，此系統的三自由度電動 1 平台上搭配了雙軸雷射干涉儀及角度量測統，藉此監控離軸對位過程並提供定位輔助，確保 模具在移動過程誤差最小化。由於上模具係固定於系統框架，對位過程上模具固定不動，因