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微機電封裝技術之簡介
1234 1 23 4
(MEMS Packaging)
(MEMS) (LTCC)
(MEMS Packaging)
(Wafer Level)
(Stiction)
(Bond Pad)
(Micro-
Electro-Mechanical System;
MEMS)
1mm
(IC Package) 50~95 %
Packaging) (IC Packaging)
(MEMS
(1)
(Sensor)
.tw 92 1 193
175
(Actuator)
(Surface Micro-machining) (Bulk Micro-
machining) LIGA(Lithographie,
Galvanoformung and Abformung) LIGA
X (LIGA) (UV-LIGA)
(Laser-LIGA) (Deep
RIE)
(Multilayer)
(2,3)
(De-lamination)
(Microsteam Engines) (Micromirrors for Digital Light)
(Etching)
(Cantilevers)
(Bridges)
(Channels)
(High Aspect Ratio Micro-machining; HARM)(4)
LIGA
(Kernforschungszentrum Karlsruhe, KfK) 90 X
(5)
1.
Support)
(Mechanical
(Geartrain) (Microengines)
Photoresist Oxide
Si Deep RIE (ICP-RIE)
Si S KOH, EDP, TMAH...
Photoresist
Sacrificial Silicon Oxide
Si Thin Film Deposition and Etching
Structural Polysilicon
Si
Si Releasing
(Glass)
2.
(Ceramic) (CTE)
176 193 92 1 .tw
RF MEMS MEMS
Optical
3.
RF
1.
Packages)
(Metal
2.
Packages)
(Ceramic
Level Packaging
3rd
4.
(IC Packaging)
(a) Transistor Outline TO can (b)~(d)
IC MEMs Item Packaging Packaging 1 Capping 2 Dicing 3 Die Bonding 4 Wire Bonding 5 Pre-Molding 6 Post- Molding 7 Hermetic 8 Wafer Bonding 9 Barking 10 Testing 11 Stiction 12 Reliability 13 Standard 14 Cost
.tw 92 1 193
177
1~20 μm
2.8 3.2
4.
Package)
(Plastic
(Hermeticity) 95%
3.
(Thin Film Multi-layer Packages)
LTCC(Low Temperature Co-fire Ceramic)
(Pre-molded) (Post-molded)
(Injection Molding) (Transfer Molding)
25 μm Coater)
IC
(Spin
(Cavity) (Sealing)
(Cap)
(6)
1. (7)
(Stiction)
Air Cavity
Cap
nation
(Moisture) Crack Delami-
(HF) (CO2)
178 193 92 1 .tw
2. (Stress)
(Frit) (Anodic Bonding) 450°C 500°C
4. (Die Handling)
1000°C (Pick and Place)
(CTE)
6. (Outgassing)
3. (Dicing)
(Mils)
5. (Wafer Level Encapsulation)(8, 9)
Cyanate
(Cap)
(Direct Bonding) 1000°C
7. (Testing)
.tw 92 1 193
179
(Reliability)
(10)
Specification)
(Standard
(Bonding) (Lifting)
50~95 % MEMS
1. Rajeshuni Ramesham and Reza Ghaffarian , Interconnection and Packaging Issues of Microelect
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