磷检炉--操作规程讲义.docVIP

整理车间 磷检炉操作规程 国电宁夏太阳能有限公司 年月日一、岗位任务： 1 二、岗位职责 1 三、检验用料及产品质量要求 1 四、工艺原理，条件及流程 2 五、操作过程 4 六、事故防范与处理 7 七、操作记录 8 一、岗位任务： 本岗位位于整理厂房二层，操作间洁净等级为万级，主要任务是多晶硅基磷（P）检验单晶棒拉制，依据“磷检”电阻率检测结果评价多晶硅质量，并对其进行质量等级分类。 二、岗位职责 2.1熟悉本岗位操作规程及安全规程并严格执行，遵守各项纪律和制度,维持正常生产，解决生产问题。 2.2完成岗位质量、产量任务。 2.3做好本岗位设备的维护保养工作和设备，环境卫生工作。 2.4及时、准确填报和保管岗位原始记录。 2.5 产品出、入操作间时要严格记录好日期、批次、型号、电阻率、重量等信息。 三、检验用料及产品质量要求 3.1 检验用料要求 多晶硅棒规格：φ15-φ20mm×150-200mm（头部倒角2×45°） 籽晶规格：5×5×40-60mm 电阻率：﹥300Ω.cm 型号: N型 氩气：H2≦1.0ppm，O2≦2.0ppm，N2≦5.0ppm，CH2≦1.0ppm，CO2≦1.0ppm 氢氟酸:优级纯 硝酸: 优级纯 乙醇: 优级纯 丙酮: 优级纯 钼丝：高纯材料经清洗 3.2产品质量要求 型号：N型 直径：15±5mm 长度：150-200mm 电阻率：≧800Ω.cm（特级品） 电阻率：≧500Ω.cm（一级品） 电阻率：≧300Ω.cm（二级品） 3.3主要经济技术指标 3.3.1按批进行多晶硅质量抽检。 3.3.2区熔一根磷检棒耗时约2.5h。 四、工艺原理，条件及流程 4.1工作原理 对多晶硅的检测，通常使用区熔发进行。其根据是硅中磷，硼之外，其他极微量的杂质元素都可以经过熔体分凝和真空挥发而轻易除去，而硼的分凝系数较大，接近0.8，真空下不易挥发。磷相对硼而言分凝系数小，为0.35，较易分凝提纯，在真空中也较易挥发。因此，利用气氛区熔可除去磷，硼以外的杂质获得多晶硅的磷检电阻率，再扣除基硼杂质的补偿后，即为多晶硅的基磷电阻率，从而计算出基磷杂质含量。 4.2工艺条件 4.2.1主要参数 内热是磷检炉采用高频感应加热，加热线圈单匝。 1、电源电压： 380VAC±10% 2、电源频率： 50Hz 3、电源相数： 三相五线制 4、变压器容量： 20kVA 5、最大加热功率： 12kW 6、最高加热电压： 5.4kV 7、上下轴最大行程： 300mm 8、上轴快速升降速度： 0～180mm/min连续可调 9、上轴慢速升降速度： 0～6mm/min 10、下轴快速升降速度： 0～180mm/min连续可调 11、下轴慢速升降速度： 0～6mm/min 12、上下轴旋转速度： 0～66r/min 13、主机最大高度： 2530mm 14、主机重量： 850kg 15、主机占地面积： 860mm×1760mm 16、整机占地面积： 10m2 4.2.2工艺参数 氩气压力：0.3±0.5MPa 氩气速度：3-10L/min 冷却水压力：0.15-0.20 MPa 区熔次数：二次成晶 区熔速度：提纯速度6-8mm/min（3.2-4.6 mm/min） 成晶速度3-5 mm/min（3.0-4.2 mm/min） 4.3工艺流程 多晶硅棒————腐蚀洗清————烘干————包装————装炉————加热————区熔————拆炉————喷砂————物理检测 五、操作过程 5.1试样处理 5.1.1除去桥型多晶硅棒硅芯搭接处或者直的多晶硅棒离石墨夹头10mm一段外均可取样。 5.1.2非特殊要求，在硅芯和外表层之间平行于硅芯钻取多晶硅棒。 5.1.3在分析纯丙酮中洗样去油;用优级纯乙醇清洗20-30s后用电阻率大于10MΩ的去离子