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设备模块化培训资料 　　　　　 －真空系统 培训基本内容 目录 真空定义与分类 　　●真空的定义 1标准大气压：在标准重力加速度g为980.665厘米/秒2，温度T为273K　　　　　　　　　时，760毫米高的汞柱所施加的压强。 真空是指压强低于1标准大气压的气态空间。 1atm=760Torr=1.013×105Pa 1Torr＝7.5×10－3Pa 1Pa＝1N/m2=133.3Torr １bar=0.1MPa≈1个标准大气压 1atm的气态空间，气体分子的浓度为：2.69×1019个/cm3，随着压强的下降，空间气体分子的浓度不断下降，气态分子呈现出不同的物理现象，通常把压强小于1大气压的真空空间称为真空。真空按如右区域划分： 真空定义与分类 系统结构： 抽风主管 抽风副管 调节阀 负压压力表 湿制程设备抽风系统 湿制程设备抽风系统 湿制程设备抽风系统 湿制程设备抽风系统 抽风系统常见故障 　　（１）主管连接处松动------原因多为螺丝松动或变形-------重新更换或上进螺丝即可 　　（２）副管连接处裂开------原因多为管子接口处焊接老化-----重新焊接 　　 湿制程设备抽风系统 抽风软管接口松动或老化裂开（上紧固定环螺丝或更换新管即可） 设施抽风 扩散工序平面图 抽