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石英行业展望 石英玻璃简介 石英玻璃制备方法 石英玻璃与普通玻璃差异 石英玻璃性能 石英玻璃性能 纯度 a. 透明石英玻璃： 气炼石英玻璃：SiO2 99.97％以上； SiCl4直接气炼石英玻璃：SiO2 99.9999％以上； 高纯石英玻璃：SiO2 99.999％以上。 b. 不透明石英玻璃：SiO2 99.5％以上。 2. 电学性质： 石英玻璃是一种优良的绝缘材料，在高温下仍能保持很高的介电强度和电阻，而且几乎没有损耗，（OH）－和杂质将使介电强度降低， tanδ增加。 石英玻璃热力学性质 a. 耐温性： 石英玻璃的耐高温性能，远远超过任何一种玻璃。 T熔＝1713℃，T软＝1580℃±10℃，T退火＝1140 ℃±10℃。 短时间可在1450℃高温下使用，常可在1000℃以上、不透明则在900℃使用。 b. 热膨胀系数： 石英玻璃的膨胀系数极小，α～5×10－7℃－1，为平板玻璃的1/14，其原因是石英玻璃的结构类似于方石英相（立方），没有低温变体的锯齿形特征，同时 Si－O键较强。 石英玻璃机械性质 石英玻璃由单组元硅氧四面体组成网络骨架，硅氧键键强很大，结构紧密机械强度很高，为普通玻璃的2～3倍；网络中没有间隙离子填充，故密度小。 原料纯度（杂质）、种类、产品气泡、羟基（OH -）含量、熔化不均匀等影响强度。 透明石英玻璃密度：D＝2.20～2.21g/cm3； 不透明石英玻璃密度：D′＝2.02～2.18g/cm3； P抗张～60MPa；P抗弯～110MPa；P抗压～640MPa ； 维氏硬度：700Kp/mm2；莫氏硬度：6级；泊松比：0.17 石英玻璃原材 石英玻璃工艺分类 电熔透明石英玻璃 气炼透明石英玻璃 常见原材使用规格 1、石英玻璃在电光源行业中的应用 石英玻璃的应用 石英玻璃的应用 石英玻璃的应用 半导体行业的应用 半导体行业的应用 半导体行业的应用 石英玻璃的脱羟 石英加工的常见缺陷 石英玻璃的加工流程 槽 沉 切 片 研 磨 滚 圆 按样板钻孔 细 磨 8、石英匀流板加工工艺流程 冷加工 规格：负公差≤直径≤正公差； 负公差≤孔径 ≤正公差；负公差≤ 厚度≤正公差 负公差≤孔距≤正公差 ;同心度 ≤0.1;倒角?按工艺要求 粗磨?240目 细磨?W28研磨 热加工外观：水迹≤10 mm2 ≤2个/100cm2; 色斑φ≤1.0 5个/100cm2 ;白雾?不允许 表面光滑、整洁;边缘应烧圆，不允许有裂纹和变形;垂直度 ≤高度尺寸的1% 附件不允许偏歪; 同心度≤长度尺寸的1% 半成品检验 板材检验 清 洗 清 洗 成品检验 焊 接 退 火 附件安装 清 洗 半成品检验 火焰抛光 板材自检 定 位 冷加工研磨 退 火 火焰抛光 石英玻璃的加工流程 槽 沉 切 片 研 磨 细 磨 倒 角 清 洗 9、石英平板加工工艺流程 成品检验 冷加工 规格：负公差≤长度≤正公差； 负公差≤宽度 ≤正公差；负公差≤ 厚度≤正公差倒角?按工艺要求 粗磨?240目 细磨?W28研磨； 平行度≤0.2；平面度≤0.2 ； 不允许崩边、崩角 石英玻璃的加工流程 石英棒、片切割 研 磨 倒 角 细 磨 清 洗 自 检 10、石英托架加工工艺流程 冷加工 规格：负公差≤长度≤正公差； 负公差≤宽度 ≤正公差；负公差≤ 厚度≤正公差倒角?按工艺要求 粗磨?240目 细磨?W28研磨； 平行度≤0.2；平面度≤0.2 ； 不允许崩边、崩角 热加工规格：负公差≤宽度≤正公差； 负公差≤长度≤正公差； 负公差≤高度≤正公差 外观：水迹≤10 mm2 ≤2个/100cm2 ;色斑φ≤1.0 5个/100cm2; 白雾?不允许 表面光滑、整洁； 垂直度 ≤高度尺寸的1%；边缘应烧圆，不允许有裂纹和变形； 附件不允许偏歪 半成品检验 定 位 焊 接 火 焰 抛 光 成品检验 半成品检验 火 焰 抛 光 退 火 冷加工研磨 退 火 11、冷加工工艺介绍 石英玻璃的加工流程 酸洗 切割 粘板化蜡 1 研磨 磨板 研磨 12、热加工流程介绍 石英玻璃的加工流程 火 焰 抛 光 退 火 拍瓶 扩管 焊 接 点焊