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用光腔衰荡法精确测量 高反射镜的反射率 高丽峰，熊胜明，李斌成，张云洞 (中国科学院光电技术研究所，四川成都610209) 摘要： 根据光腔衰荡光谱技术原理，建立了测量镜片反射率的实验装置。利用该装置测定了一对’ 到lO～，可用于超低损耗薄膜高反射镜反射率的精确测量。 关键词： 光腔衰荡光谱技术(CRDS)；反射率； 检测 一、引 言 来，CRD光谱技术被广泛应用研究原子、分子、团簇的弱吸收光谱，以及环境生态领域的 某些气体的痕量探测和化学反应动力学过程的研究‘“】。我们根据光腔衰荡原理，建立了测 定镜片反射率的装置，通过直型腔和折叠型腔相结合来测量镜片高反射率【5’6】，测量精度高， 可测任意角度的反射率，满足不同要求的测量。 二、实验原理 衰荡光谱实验原理如图l所示，商反射率镜Ml和M2构成一个光学谐振腔，当一束脉 冲激光沿着光轴入射到光腔内，忽略衍射及散射损耗，单色脉冲光在两个腔镜之间往返振 荡，每经过一次循环透射出部分光，M2后面的探测器接收光脉冲信号的衰减规律。设两个 腔镜的反射率为Rl和R2，Il为第一次透射出腔外的光强． 衰荡寿命To定义为出射脉冲光强衰减为初始光强的；／e时经过的时间，t时刻的光强 I(t)与Il有 ，【f)=Ilexp(一t／ro) (1) 若谐振腔内损耗很小可以忽略，即Q=0，所用腔镜为相同镀制条件同一罩镀制的高反 射镜，则两腔镜反射率相等，反射率为： R=√垦R2=exp(一L／cro)(2) 将待测镜片插入衰荡光腔，将直腔改变为折叠腔，还可以对不同尺寸和基底材料的高 ——225— 反射镜进行所需测试角度的高反射率的测试。此时，两腔镜和待测镜片构成谐振腔，将待 测镜片作为直腔内的一项损耗，两腔的损耗之差即为被测镜的反射率。折叠腔中待测镜片 的反射率为： R，：eXp卜0一上)兰】 (3) f C To of 啦．1DiagramCavityring-downspectroscopesetup 囤l 衰荡光腔实验装I图 lam 计算机，对数据采集到计算机进行分析。实验中对OPO输出的光束用望远系统进行激光脉 冲整形，采用同轴He-Ne激光调谐谐振腔镜。 三、实验结果 实验光路调整后，激光脉冲可以在两面00凹面高反镜之间建立起振荡，使用同轴He．Ne 光精细地调谐谐振腔镜，即可在示波器上得此衰荡光腔的衰荡曲线，由此得到光腔的实际 衰荡寿命，计算出腔镜的反射率。以相同腔长将光腔折叠，插入待测高反射镜，以同样的 方法调整三面镜片构成谐振腔，测得衰荡光腔的衰荡寿命，计算出待测样品的反射率。 u 率的精度为0．3％)。可见使用分光光度计对反射率测量要求高的测试已不适合，而光腔衰 荡法测量反射率的精度可达到10_5量级，可用于反射率的精确测试。 ．．226—． ‘ 8 O 2 14 2 ■ ● ● tO t2 Time(ps) Time(ps) of the cumof thefolded 他2 D％Iy饥rve straightc耵ity fIg．3 Decay