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真空箱氦检漏回收系统的设计要素 唐利利 张政 (安徽省机械科学研究所) 摘要：氦质谱检漏仪发展于20世纪40年代，我国的检漏仪器制造开始于60年代 初，历经半个多世纪的应用和发展，取得了辉煌的成果，从航空航天、军事工业、科学工 程、核工业到轻工、医疗、仪器仪表、汽车、制冷，无处不在。真空检漏发展有两个方面， 即一方面是检漏仪器本身，另一方面是检漏工艺技术的发展真空检漏技术广泛应用在电 力产品、电子工业、制冷和低温工业、航空航天工业；以及核工业、仪表等等都已采用氦 质谱检漏，显示出氦检漏的重要性和不可替代性。传统的检漏方法灵敏度低，使用烦杂， 工作强度大等因素，已被高灵敏度、规范化、效率高的真空检漏技术一氦气回收检漏系 统所代替并取得理想的效果。 关键词：检漏氦质谱真空箱漏率工艺计算校核 前 言 轮毂。 国内有待于开拓的检漏领域还很多， 随着经济全球化进程加快，民族工业 但由于思想观念的束缚以及经费等诸多原 的兴起愈发显得重要和紧迫，基础科学的 因，在国内很多领域还一直沿用古老且较 发展，科研工作的深入，国防工业，能源工 为落后的手段处理泄漏问题。产品合格率 业，航天航空等事业的蓬勃发展，都对真 和生产效率低。 空行业的飞速发展起到了重大的作用，相 目前，我们在对比和参考其它检测技 对真空新技术及检漏新工艺的出现和应 术方法后，逐渐转为采用真空技术，进行检 用，对这些行业的发展也起到了不容置疑 漏工程与解决方案的确定。通过把技术人 的促进作用。相对传统的检漏方法水压、 员或专家等组织起来，与用户一起，共同完 油检、常规气压等已不能满足新技术和新 成一项检漏方案的制定和实施；当然好多 产品的应用与检测水平，而氦质谱检漏仪 类似产品的测试可以相互借鉴，不需要这 的应用已从科学院、大专院校、实验室及 样复杂，但是今天检漏技术的行业推广仍 少数科研机构走向工矿企业，甚至乡镇企 然需要我们的耐心和认真的精神，踏踏实 业、个体企业，可以说在航空航天、军事工 实地去做行业的应用研究和寻找合理工艺 业、科学工程、核工业到轻工、医疗、仪器 方法。我们在根据用户需要采用真空检漏 仪表、汽车、制冷行业应用领域极其宽广。 技术进行有针对性设计和计算过程中，感 据日本有关文章介绍，日本汽车制造业， 受很深。在使用过程中，我们与用户共同探 已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪 讨应用方案，方案中也包含设备的构造和 检漏，解决密封问题。其中包括液压系统、 部件配置，在选配上根据设备关键参数和 制动系统、转向系统、避震系统、甚至汽车